光計測検査システム製品 ヘッドライン

当社の光計測用光学系とソフトウエア・画像処理・精密位置決めステージ・光計測器を組合せた光計測・検査システムの製品ラインナップです。

当社製光計測用光学系 M-Scopeシリーズと各種検出器・データ解析モジュールの組合せによるさまざまな種類の光ビーム計測解析装置をラインナップしました。また、車載用光エレクトロニクスやレーザ照明、生体認証、医療用等の分野で需要が高まっている1~10W出力クラスハイパワーレーザ用光ビームプロファイル計測装置が新たな製品群に加わりました。

専用用途光計測システムとしては、ポリマー光配線導波路の光導通やコア形状・コアピッチ等の量産検査が可能な光テスター/光配線板高速導通検査装置をはじめ、光半導体デバイス・光モジュール・シリコンフォトニクス等の分野をターゲットとしたユニークなシステム製品群を取り揃えております。

その他、当社の光計測光学系・精密位置決めステージ・画像処理技術を駆使したさまざまな特注対応装置も提供が可能です。

光計測検査システム製品 NEWS&TOPICS

【NEW】2019/4/1 【新製品情報】ハイパワーレーザ用光ビーム計測装置ラインナップ
出力1~10Wクラスのハイパワーレーザ計測を目的とした、ハイパワーレーザ用高機能NFP計測装置、ハイパワーレーザ用FFP計測装置、ハイパワーレーザ用NFP/FFP同時計測装置を2019年4月より正式に発売致しました。車載用や照明用、エレクトロニクス用で需要が広がるハイパワーレーザの光学特性を正確かつ迅速に測定できます。
 
【NEW】
2019/4/1
【新製品情報】ワイドエリア型FFP計測装置
計測対応光束径φ3mmのワイドエリア型FFP計測光学系を使用したワイドエリア型FFP計測装置を2019年4月より正式に発売致しました。大面積発光素子や大口径光ファイバ等のFFP計測を正確かつ迅速に行うことができます。
ワイドエリア型FFP計測装置
NEW
2019/4/1
【リリース情報】光ビーム解析ソフトウエア Optometrics BA Standard Version 3.0.0.0
光ビーム計測ソフトウエア Optometrics BA Standard Version 3.0.0.0(メジャーアップグレード)を2019年4月よりリリース致しました。今回のリリースでは、従来の解析に加え、新たに光パワー分布計測機能(4σ法、D86)解析機能が加わります。また、光ビームプロファイル波形のガウシアンフィッティング機能等が加わります。
なお、今回のアップグレードから、以下の通りのライセンス形態になります。
・Optometrics BA Standard:フル機能版(ソケット通信機能はオプション)
・Optometrics BA Basic:Standardから光パワー分布解析機能(EF/EAF解析機能を含む)を除いた廉価版
・ソケット通信ソフトウエア:別売となります。
光ビーム解析モジュール 
NEW
2019/2/20
【新製品情報】焦点位置計測装置
焦点位置計測装置を発売致しました。当社製NFP計測光学系M-Scope type Sと電動ステージシステムを組合せることで、マイクロレンズや光学モジュールの焦点位置やビームウエスト位置、ビーム形状の変化を高精度で測定可能です。対象サンプル形状により、縦置き型・横置き型等の装置配置が可能です。
焦点位置計測装置
2018/8/20 【新製品】赤外高分解能FFP計測装置
赤外高分解能FFP計測装置を発売しました。検出器にはVGA型InGaAs高感度近赤外検出器ISA041VHを使用、専用設計の高分解能型FFP計測光学系とのマッチングにより、計測角度分解能約0.1°(当社従来品は約0.4°)の高分解能を実現しました。シリコンフォトニクス素子等の高分解能FFP解析に応用可能です。
赤外高分解能FFP計測装置
規格 エンサークルドフラックス・アンギュラーフラックス計測法 国際規格化に関する情報
*エンサークルドフラックス計測法 IEC61280-1-4
*エンサークルドアンギュラーフラックス計測法 IEC61300-3053
EF/EAF測定装置

光計測検査システム製品 製品ラインナップと概要

汎用光ビームプロファイル計測システム

光ビームNFP計測装置 NFP測定光学系と画像処理方式による汎用型光ビームプロファイル計測装置。光デバイス・光モジュール・光コンポーネントデバイスのNFP計測・発光パターン計測に最適。
  • 半導体レーザNFP計測
  • 光ファイバの光ビームプロファイル計測
  • 各種光モジュールの組立調整や品質評価
光ビームFFP計測装置 FFP光学系と画像処理方式による放射角度分布(FFP:ファーフィールドパターン)計測装置。画像処理方式によるリアルタイム測定。光ファイバや光デバイスのFFP測定やN.A.計測に最適。
  • 発光素子や光ファイバ等の放射角度分布計測
  • 光ファイバや光導波路の出射N.A.計測
【新製品】
ワイドエリア型FFP計測装置
計測対象光束径約3mmφワイドエリア型FFP光学系と画像処理方式による放射角度分布(FFP:ファーフィールドパターン)計測装置。画像処理方式によるリアルタイム測定。大面積発光デバイスのFFP測定やN.A.計測に最適。
  • 大面積発光素子や大口径光ファイバ等のFFP・放射角度分布計測
【新製品】
赤外高分解能FFP計測装置
1310-1550nm光通信波長帯用高分解能FFP計測システム。VGA型InGaAs近赤外検出器ISA041VHとの組合せにより、1310-1550nm光通信波長帯で角度画素分解能0.1°の高分解能FFP計測を実現。
  • 赤外波長域高分解能FFP(ファーフィールドパターン・放射角度分布)計測
  • 光ファイバ・光導波路等赤外光デバイスの出射N.A.計測
  • Siフォトニクス素子のFFP計測
エンサークルドフラックス計測装置
エンサークルドアンギュラーフラックス計測装置
マルチモード光ファイバのモード伝播パラメータを光学系+画像処理により高速に測定。NFP計測光学系との組み合わせによるエンサークルドフラックス(EF)測定、FFP計測光学系との組み合わせによるエンサークルドアンギュラーフラックス(EAF)測定に対応。
  • GI型マルチモード光ファイバ・光デバイスのエンサークルドフラックス計測
  • SI型マルチモード光ファイバ・光デバイスのエンサークルドアンギュラーフラックス計測
コリメート光計測装置 コリメート光の平行度を高分解能で計測。コリメートビーム観察の他、コリメータモジュールの品質評価、コリメートレンズの調整等に応用が可能。
  • コリメート光のビーム平行度計測
  • コリメータレンズモジュールの組立調整や品質評価
  • バタフライモジュールのコリメータレンズ調整や評価
NFP/FFP同時計測装置
NFP/コリメート光同時計測装置
NFP計測とFFP計測/コリメート光計測を同一筐体で実現。バタフライモジュールのレンズ位置調整に最適。
  • 光ファイバ・光導波路・光デバイスなどのNFP/FFP評価
  • コリメータモジュールの組立調整や品質評価
  • バタフライモジュールの組立調整や品質評価
光ビーム解析モジュール
AP013
レーザや光デバイス・モジュールの発光ビームパターン計測や、NFP/FFP/EF/EAF等の発光パラメータ計測を目的とした画像処理・解析用モジュール。解析装置・光ビーム計測解析ソフトウエア・カメラドライバ・各種補正データのセット。面倒な設定は不要で、検出器を接続して直ちに使用可能。
  • 光ビームNFP計測一般
  • 光ビームプロファイル計測一般
  • エンサークルドフラックス・エンサークルドアンギュラーフラックス計測

ハイパワーレーザ用光ビームプロファイル計測装置

ハイパワーレーザ用光ビームNFP計測装置 1~10Wクラス高出力レーザ対応のNFP計測・光ビームプロファイル計測・発光パターン観察システム。
  • LiDAR用、レーザヘッドライト用・生体認証用・医療用・レーザディスプレイ用等の1~10W出力クラス高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測と解析
【新製品】
ハイパワーレーザ用高機能光ビームNFP計測装置

1~10Wクラス高出力レーザ対応の高機能NFP計測・光ビームプロファイル計測・発光パターン観察システム。対物レンズ後段に2段ビームサンプラーを設置。対物レンズ倍率の選択が可能。
  • LiDAR用、レーザヘッドライト用・生体認証用・医療用・レーザディスプレイ用等の1~10W出力クラス高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測と解析
【新製品】
ハイパワーレーザ用FFP計測装置

1~10Wクラス高出力レーザ対応のFFP計測システム。専用のハイパワー対応FFP計測光学系と2段ビームサンプラーにより高出力レーザのFFPを高精度測定。
  • LiDAR用、レーザヘッドライト用・生体認証用・医療用・レーザディスプレイ用等の1~10W出力クラス高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測と解析
【新製品】
ハイパワーレーザ用NFP/FFP同時計測装置
1~10Wクラス高出力レーザ対応のNFP/FFP同時計測システム。単一の光学系を使用して高出力レーザのNFP/FFPを同時に計測可能。
  • 1~10W出力クラス青色高出力レーザやレーザモジュールのNFP/FFP計測と解析

専用用途光計測検査システム

光テスター/光配線導波路高速導通検査装置 多チャンネルポリマー光配線導波路の導通を高速・高精度に測定。ポリマー光配線導波路の量産検査に対応した高速導通検査装置。
  • ポリマー光導波路の導通検査(リファレンス導波路との比較による相対損失測定方式)
  • ポリマー光導波路のコア位置・外形形状等の計測
個片サンプルローダ・アンローダ機能付
光テスター/光配線導波路高速導通検査装置
ポリマー光導波路個片サンプルの自動ローダ・アンローダを搭載した光配線高速導通検査装置。個片サンプルのサンプル給排を自動化し、量産検査を可能に。
  • 個片ポリマー光導波路の量産導通検査(リファレンス導波路との比較による相対損失測定方式)
  • 個片ポリマー光導波路のコア位置・外形形状等の計測
光学系方式
光導波路挿入損失測定装置
光照射・受光計測光学系により、被測定導波路の入射・出射端面を画像観察により位置合わせしながら、測定光を直接コアに入射・受光、光導波路の挿入損失を簡単迅速に測定可能。
  • ポリマー光導波路の挿入損失測定

超微細導波路用・光学系方式光導波路挿入損失測定装置

Siフォトニクス導波路・近接光学素子等サブミクロンの構造・コア径を持つ光導波路の損失を高速・高精度測定。光照射・受光計測光学系と画像処理・電動ステージ制御により、量産検査にも対応可能。
  • SIフォトニクス導波路・近接光学素子の挿入損失測定
プローバ搭載型
ウエハレベル光素子光学特性測定装置
ウエハ状態で、受光素子(フォトダイオード、照度センサ等)や発光素子(VCSEL、LED等)の光学特性を測定。各種プローバシステムとの組み合わせにより、ウエハレベルでの光学特性測定が可能。また、セミオートプローバとの組み合わせにより、測定の自動化・効率化が可能に。
  • ウエハ状態受光素子の光入射による光学特性測定
  • ウエハ状態の発光素子の発光光学特性測定
【新製品】
焦点位置計測装置
マイクロレンズやLDモジュール・ファイバモジュール等の焦点位置・ビームウエストを専用ソフトウエアにより自動計測。
  • マイクロレンズの焦点位置計測
  • レンズ付きLDモジュールの焦点位置計測
  • レンズ付ファイバモジュールの焦点位置計測