光計測用高機能光学系・光計測システムソリューション

光応用計測・検査装置　関連製品

光計測検査システム製品　ヘッドライン

当社の光計測用光学系とソフトウエア・画像処理・精密位置決めステージ・光計測器を組合せた光計測・検査システムの製品ラインナップです。

当社製光計測用光学系　M-Scopeシリーズと各種検出器・データ解析モジュールの組合せによるさまざまな種類の光ビーム計測解析装置をラインナップしました。また、車載用光エレクトロニクスやレーザ照明、生体認証、医療用等の分野で需要が高まっている1～10W出力クラスハイパワーレーザ用光ビームプロファイル計測装置が新たな製品群に加わりました。

専用用途光計測システムとしては、ポリマー光配線導波路の光導通やコア形状・コアピッチ等の量産検査が可能な光テスター/光配線板高速導通検査装置をはじめ、光半導体デバイス・光モジュール・シリコンフォトニクス等の分野をターゲットとしたユニークなシステム製品群を取り揃えております。

その他、当社の光計測光学系・精密位置決めステージ・画像処理技術を駆使したさまざまな特注対応装置も提供が可能です。

光計測検査システム製品　NEWS&TOPICS

【NEW】
2024/11/15		 【新製品】集積型光アクティブモジュール実装組立装置
高伝送性能・低消費電力・超小型の次世代高集積光トランシーバモジュールとして期待されているEOM(Embedded Optical Module）組立時の、光I/Oコアチップ光ピンと光ファイバアレイの高速・高精度実装を行う装置です。高精度パッシブアライメントや光学方式面合わせ機能など独自の機能を搭載、実装時間の大幅な短縮によるEOMの量産化に対応します。なお本製品は、経済産業省　令和4年度成長型中小企業等研究開発支援事業（Go-Tech事業）の採択を受けて研究開発・製品化を行った製品です。		 集積型光アクティブモジュール実装組立装置
【NEW】
2023/10/12		 【新製品】光導波路光学特性測定装置
光導波路の挿入損失や出射端のNFP・FFP・偏光消光比などの光学特性の自動測定に対応する光導波路光学特性測定装置をリリースしました。弊社独自の光学系方式画像調芯・ピークサーチ連動方式自動調芯機能に加えて、弊社製光ビーム解析ソフトウエアとの連動による光導波路の光学的諸特性の自動計測が可能です。		 光導波路光学特性測定装置

2022/3/1		 ワイドエリア拡張型FFP計測装置
大面積発光素子に対応するワイドエリア拡張型FFP計測装置をリリースしました。計測対象光束径約4.24mmφ、大型発光サイズの発光素子計測に対応したワイドエリア拡張型FFP光学系 M-Scope type FSWを使用、画像処理方式によるリアルタイムFFP計測が可能です。		 ワイドエリア拡張型FFP計測装置
2020/7/1 測光モジュール　IVL測定モジュール・偏光測定モジュール
各種発光素子の発光パラメータ計測用測光モジュール製品として、発光素子のIVL特性測定用のIVL測定モジュール　PMD002/IVL・偏光消光比測定用の偏光測定モジュール　PMD002/POLの2機種を発売致しました。当社システム製品との組合せ使用の他、単体での使用も可能です。		 IVL測定モジュール
偏光測定モジュール
2020/7/1 ウエハレベル発光素子光学特性測定装置
VCSEL等発光デバイスのウエハレベル発光特性測定・解析を目的としたウエハレベル発光素子光学特性測定装置を発売致しました。マニュアルプローバやセミオートプローバとの組合せ・連動により、VCSELの各種発光パラメータをウエハレベルで解析可能です。		 ウエハレベル発光素子光学特性測定装置
規格 エンサークルドフラックス・アンギュラーフラックス計測法　国際規格化に関する情報
＊エンサークルドフラックス計測法　IEC61280-1-4
＊エンサークルドアンギュラーフラックス計測法　IEC61300-3-53		 EF/EAF測定装置

光計測検査システム製品　製品ラインナップと概要

汎用光ビームプロファイル計測システム
光ビームNFP計測装置 NFP測定光学系と画像処理方式による汎用型光ビームプロファイル計測装置。光デバイス・光モジュール・光コンポーネントデバイスのNFP計測・発光パターン計測に最適。
  • 半導体レーザNFP計測
  • 光ファイバの光ビームプロファイル計測
  • 各種光モジュールの組立調整や品質評価
FFP計測装置 FFP光学系と画像処理方式によるリアルタイム放射角度分布（FFP:ファーフィールドパターン）計測装置。光ファイバや光デバイスのFFP測定やN.A.計測に最適。
  • 発光素子や光ファイバ等の放射角度分布計測
  • 光ファイバや光導波路の出射N.A.計測
ワイドエリア型FFP計測装置 計測対象光束径約3mmφワイドエリア型FFP光学系と画像処理方式によるリアルタイム放射角度分布（FFP:ファーフィールドパターン）計測装置。大面積発光素子のFFP測定に最適。
  • 大面積発光素子や大口径光ファイバ等のFFP・放射角度分布計測
【New Product】
ワイドエリア拡張型FFP計測装置		 計測対象光束径約4.24mmφ、計測角度範囲±45°のワイドエリア拡張型FFP光学系と画像処理方式によるリアルタイム放射角度分布（FFP:ファーフィールドパターン）計測装置。大面積発光素子のFFP測定に最適。
  • 大面積発光素子や大口径光ファイバ等のFFP・放射角度分布計測
赤外高分解能FFP計測装置 1310-1550nm光通信波長帯用高分解能FFP計測システム。VGA型InGaAs近赤外検出器ISA041VHとの組合せにより、角度画素分解能0.1°の高分解能FFP計測を実現。
  • 赤外波長域高分解能FFP（ファーフィールドパターン・放射角度分布）計測
  • 光ファイバ・光導波路等赤外光デバイスの出射N.A.計測
  • Siフォトニクス素子のFFP計測
エンサークルドフラックス計測装置
エンサークルドアンギュラーフラックス計測装置		 マルチモード光ファイバのモード伝播パラメータを光学系＋画像処理により高速に解析。NFP計測光学系との組合せによるEF測定、FFP計測光学系との組合せによるEAF測定に対応。
  • GI型マルチモード光ファイバ・光デバイスのエンサークルドフラックス計測
  • SI型マルチモード光ファイバ・光デバイスのエンサークルドアンギュラーフラックス計測
コリメート光計測装置 コリメート光の平行度を高分解能で計測。コリメートビーム観察の他、コリメータモジュールの品質評価、コリメートレンズの調整等に応用が可能。
  • コリメート光のビーム平行度計測
  • コリメータモジュールの組立調整や品質評価
NFP/FFP同時計測装置
 NFP計測とFFP計測/コリメート光計測を同一筐体で実現。バタフライモジュールのレンズ位置調整に最適。
  • 光ファイバ・光導波路・光デバイスなどのNFP/FFP評価
  • コリメータモジュールの組立調整や品質評価
  • バタフライモジュールの組立調整や品質評価
光ビーム解析モジュール
AP013		 各種発光デバイスのビーム計測や、NFP/FFP/EF/EAF等の発光パラメータ計測解析用画像処理システム。解析装置・光ビーム解析ソフトウエア・カメラドライバ・各種補正データのセット。
  • 光ビームNFP計測一般
  • 光ビームプロファイル計測一般
  • エンサークルドフラックス・エンサークルドアンギュラーフラックス計測
出力~10Wクラス高出力レーザ計測対応光ビームプロファイル計測装置
高出力レーザ用光ビームNFP計測装置 ～10Wクラス高出力レーザ計測対応のNFP計測・光ビームプロファイル計測・発光パターン計測解析システム。
  • LiDAR用、レーザヘッドライト用・生体認証用・医療用・レーザディスプレイ用等の1～10W出力クラス高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測と解析
高出力レーザ用高機能光ビームNFP計測装置
 ～10Wクラス高出力レーザ対応の高機能NFP計測・光ビームプロファイル計測・発光パターン観察システム。対物レンズ後段に2段ビームサンプラーを設置。対物レンズ倍率の選択が可能。
  • LiDAR用、レーザヘッドライト用・生体認証用・医療用・レーザディスプレイ用等の～10W出力クラス高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測と解析
高出力レーザ用FFP計測装置
 ～10Wクラス高出力レーザ対応のFFP計測システム。専用のハイパワー対応FFP計測光学系と2段ビームサンプラーにより高出力レーザのFFPを高精度測定。
  • LiDAR用、レーザヘッドライト用・生体認証用・医療用・レーザディスプレイ用等の～10W出力クラス高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測と解析
青色高出力レーザ用NFP/FFP同時計測装置 ～10Wクラス青色高出力レーザ対応のNFP/FFP同時計測システム。単一の光学系を使用して青色高出力レーザのNFP/FFPを同時に計測可能。
  • ～10W出力クラス青色高出力レーザやレーザモジュールのNFP/FFP計測と解析
専用用途光計測検査システム
光テスター/光配線導波路高速導通検査装置 多チャンネルポリマー光配線導波路の導通を高速・高精度に測定。ポリマー光配線導波路の量産検査に対応した高速導通検査装置。
  • ポリマー光導波路の導通検査（リファレンス導波路との比較による相対損失測定方式）
  • ポリマー光導波路のコア位置・外形形状等の計測
個片サンプルローダ機能付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置 ポリマー光導波路個片サンプルの自動ローダ・アンローダを搭載した光配線高速導通検査装置。個片サンプルのサンプル給排を自動化し、量産検査を可能に。
  • 個片ポリマー光導波路の量産導通検査（リファレンスとの比較による相対損失測定方式）
  • 個片ポリマー光導波路のコア位置・外形形状等の計測
光学系方式
光導波路挿入損失測定装置		 光照射・受光計測光学系により、被測定導波路の入射・出射端面を画像観察により位置合わせしながら、測定光を直接コアに入射・受光、光導波路の挿入損失を簡単迅速に測定可能。
  • ポリマー光導波路の挿入損失測定

超微細導波路用・光学系方式光導波路挿入損失測定装置

 Siフォトニクス導波路・近接光学素子等サブミクロンの構造・コア径を持つ光導波路の損失を高速・高精度測定。光照射・受光計測光学系と画像処理・電動ステージ制御により、量産検査にも対応可能。
  • SIフォトニクス導波路・近接光学素子の挿入損失測定

【新製品】
光導波路光学特性測定装置

 光導波路の挿入損失・NFP・FFP・偏光消光比の諸光学特性を自動・半自動測定。独自の光学系方式画像調芯・ピークサーチ調芯連動の自動調芯による損失測定。さらに各調芯位置でのNFP・FFP・偏光消光比を測定。
  • 光導波路の挿入損失・出射ビームの光学特性の測定
プローバ搭載型
ウエハレベル受光素子光学特性測定装置		 マニュアル・セミオートプローバとの組み合わせにより、フォトダイオード・受光センサ等受光素子の各種光学特性をウエハレベルで測定解析可能。
  • PD・光センサ等受光素子の光入射によるウエハレベル光学特性測定
プローバ搭載型
ウエハレベル発光素子光学特性測定装置		 マニュアル・セミオートプローバとの組み合わせにより、VCSEL等発光素子の各種光学特性をウエハレベルで測定解析可能。
  • VCSEL等発光素子のウエハレベル光学特性測定
焦点位置計測装置 マイクロレンズやLDモジュール・ファイバモジュール等の焦点位置・ビームウエストを専用ソフトウエアにより自動計測。
  • マイクロレンズの焦点位置計測
  • レンズ付きLDモジュールの焦点位置計測
  • レンズ付ファイバモジュールの焦点位置計測
【新製品】集積型光アクティブモジュール実装組立装置 次世代高集積光トランシーバモジュールであるEOMの実装組立装置。シリコンフォトニクス集積素子　光I/Oコアチップとファイバアレイのパッシブアライメント高速実装技術、光学方式面合わせ技術などのさまざまな新技術を搭載。量産化に対応。
  • 光I/Oコアチップとファイバアレイの高速・高精度
測光モジュール
【新製品】
IVL計測モジュール　PMD002/IVL		 半導体レーザ素子等のIVL特性を簡単に測定可能な測光モジュール。大面積Siフォトダイオードを使用、広いN.A.をカバー。
  • 半導体レーザ等発光デバイスのIVL特性測定 
【新製品】
偏光計測モジュール　PMD002/POL		 空間偏光子回転方式の偏光消光比測定モジュール。空間光測定にも対応。各種光ファイバやLDの他、プローバと組み合わせたVCSELのウエハレベル測定にも対応可能。
  • 半導体レーザ・光ファイバ・各種光学モジュールの偏光消光比測定。