光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要

焦点位置・ビームウエスト自動計測装置は、NFP計測装置と高精度自動位置決めステージの連動により、集光レンズやレンズ付きLDモジュール・ファイバモジュールの焦点位置やビームウエストを自動計測する装置です。

検出器の選択により、可視~1100nm帯、950~1700nm帯の各波長帯における計測に対応可能です。

本装置には、専用の焦点位置自動計測ソフトウエアが装備されています。本ソフトウエアによりNFP計測とステージの連動制御を行い、ビーム焦点位置の自動計測を高精度かつ迅速に行うことができます。

焦点位置・ビームウエスト計測装置の計測方式

基本的な測定は以下の手順・プロセスで実行します。

(1)画像検出器の画像から、焦点位置計測の基準となるレンズの端面等にピントをあわせます。ピント合わせはオートフォーカス(またはマニュアル操作)により行います。

(2)電動位置決めステージを制御し、光学系またはサンプルを焦点方向にマイクロステップで移動します。

(3)電動位置決めステージの各移動位置での光ビーム画像を連続で取得します。

(4)(3)で取得した画像を処理し、電動位置決めステージの各移動位置での光ビーム径を計測します。

(5)電動位置決めステージの各移動位置でのビーム径を解析して、集光位置を計算します。

特長

  • 画像処理方式+高精度電動位置決めステージシステムの連動による高精度測定
  • 検出器の選択により、可視~1100nm帯、950nm~1700nm帯の測定に対応可能。
    • 可視~1100nm帯:高精度デジタルCCD検出器 ISA011
    • 950nm~1700nm:InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2
  • ビームウエスト近傍でのビーム形状や、ビームの長径・単径比や非点隔差等の計測解析にも応用可能。

応用

  • マイクロレンズや各種レンズモジュールの焦点位置・ビームウエスト計測
  • 各種LDモジュールやファイバモジュールの焦点位置・ビームウエスト計測

計測項目

  • 焦点位置の計測(焦点位置、焦点位置でのスポット径(X軸幅、Y軸幅、平均幅))
  • 各ポイントでのスポット径(X軸幅、Y軸幅、平均幅 または 長径幅、短径幅)、ビーム形状

コンポーネントセレクションと装置の構成

装置のブロックダイアグラム

装置の主要構成品

  • 高機能NFP計測光学系部
  • 検出器
  • 光学系設置架台
    • 横置き型光学系設置架台
    • 縦置き型光学系設置架台
  • 電動位置決めステージ部
    • 電動XYZ軸ステージシステム(サンプル側または光学系側)
    • 電動ステージコントローラ
    • その他、各種電動位置決めステージシステムとの組合せ構成・仕様に対応致します。
  • サンプルステージ部
    • サンプルホルダ
    • サンプル位置調整用ステージシステム
  • 制御システム部
    • データ処理・システム制御用コンピュータシステム
    • オペレーション用PCモニタ
    • 焦点位置自動計測ソフトウエア
  • 付帯設備
    • 装置カバー付防振台
    • システムラック
    • 安全仕様対応集中電源装置
    • その他

関連製品情報

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