光応用計測・検査装置 測光モジュール製品
偏光測定モジュール PMD002/POL
製品の概要
偏光測定モジュール PMD002/POL
偏光測定モジュール PMD002/POLは、空間偏光子回転方式の偏光消光比測定モジュールです。コリメートされた入射光の偏光状態を直接測定します。また、対物レンズを使用すれば、光ファイバや半導体レーザの出射偏光状態を測定できます。
偏光測定センサヘッドは、単体での使用の他、プローバへの搭載・組合せによって、VCSEL等のウエハレベル偏光測定にも使用できます。
製品の特長
- 高速かつ高い分解能・再現精度で偏光消光比測定が可能。
- パルス回転ステージにより偏光子の回転を制御。高い角度精度。
- 対物レンズの装着が可能。光ファイバの他、各種レーザやVCSEL等の空間光測定も可能。
- 大口径ビームの測定が可能（φ10mmコリメート光まで測定可能）。
- プローバシステムへの装着と使用が可能。ウェハレベルでVCSELの偏光計測に対応可能。
製品の主な応用
- 各種発光素子の偏光消光比の測定解析
製品の主な仕様
| 計測方式 | 空間偏光子回転方式 |
|---|---|
| 計測波長域 |
|
| 入射光量と消光比測定レンジ |
|
| 消光比測定再現性 | ±0.5dB |
| 消光比表示分解能 | 0.01dB |
| 計測対象光束径 | 最大約10mmφ（コリメート光） |
| 計測角度範囲 | 360° |
| 最小角度分解能 | 約0.09° |
| 角度測定分解能 | ±0.5°（フィッティング使用時） |
| 減光方式 | フィルタポートへの減光フィルタ挿入方式（センサヘッド入射部に1枚挿入可能） |
製品の構成・コンポーネントセレクション
装置の構成図
装置の構成品
- 標準構成品
- 偏光測定モジュール PMD002/POL
- センサヘッド
- コントロールユニット
- 偏光測定ソフトウエア Optometrics POL basic
- オプション
- 各種測定用架台
- 対物レンズ
- 減光フィルタ
偏光測定ソフトウエア Optometrics POL basic
偏光測定ソフトウエア Optometrics POL basicは、偏光測定モジュール PMD002/POLを使用して偏光消光比測定を行う基本ソフトウエアです。PMD002/POLに付属しています。以下の基本的な機能を有しています。
- 測定パラメータ
- 消光比
- 方位角
- 全入射パワー
- 方位角方向のパワー
- 機能
- グラフ表示機能
- 方位角消光比vsパワー表示機能
- フィッティング機能
- 計測条件設定機能
- データの保存
- グラフデータの保存
- グラフデータのcsv出力