光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要

ウエハレベル発光素子特性測定装置は、VCSEL等各種発光素子の電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。VCSELの特性計測に必要な電気的特性測定のほか、発光ビームプロファイル計測・FFP計測(放射角度分布計測)・IVL計測・偏光計測等の光学的な特性測定をウエハレベルで行うことが可能です。

セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用プローバシステムと、当社のプローバ用高機能光計測用光学系 M-Scope I/PFW、FFP計測光学系 M-Scope type F、IVL計測モジュール PMD002/IVL、偏光測定モジュール PMD002/POLとSMU・光スペクトラムアナライザ等の各種測定器を組み合わせて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・データ収集を行います。また、セミオートプローバとの組み合わせで、量産デバイスの自動測定にも対応可能です。

特長

  • マニュアルプローバ・セミオートプローバとの組み合わせにより、VCSEL等の発光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能
  • フォームファクター社製セミオートプローバシステムとの連動機能により、各種測定の自動化・高速化・省力化を実現
  • 当社製プローバ用光計測用光学系 M-Scope type I/PFWやFFP計測光学系 M-Scope type F等各種M-Scopeシリーズ光学系、測光モジュールPMD002/IVLPMD002/POL を搭載可能。測定項目にあわせた光学系セレクションとシステムアップが可能。
  • 当社製光計測・解析ソフトウエア Optometrics Customized Version for LDを搭載。セミオートプローバの制御・連動による解析の自動化、当社光学系により取得した光学特性データや各種測定器からのデータの統合収集管理、測定品種や測定レシピの管理を一元化可能。個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能。

応用

  • VCSEL等の発光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析
    • I-V-L特性、発光ビームプロファイル(NFP・FFP)解析、偏光特性、発光スペクトル解析等

装置構成例

ウエハレベル発光素子光学特性測定装置 システム構成例(下記は一例です。構成は対象サンプル・計測項目により変わります。)

システム構成例

ソフトウエアと計測項目例

Optometrics Customized Version for LD / FFP計測

Optometrics Customized Version for LD / IVL計測

Optometrics Customized Version for LD / 波長計測

計測項目は、測定対象・測定内容・使用する測定器・測定手順や運用によりかわります。本装置では、測定サンプル・測定内容・測定手順・接続する測定器等によりソフトウエアのカスタマイズが必要となります。下記は測定項目の一例です。

  • 発光解析
    • 光ビームプロファイル計測
      • NFP計測
      • FFP計測
    • IVL特性
    • 偏光消光比特性
    • 発光スペクトル計測

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