光計測用高機能光学系・光計測システムソリューション

光応用計測・検査装置　専用用途光計測検査システム

ウエハレベル発光素子光学特性測定装置

製品の概要
ウエハレベル発光素子光学特性測定装置

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ウエハレベル発光素子特性測定装置は、VCSEL等各種発光素子の電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。VCSELの特性計測に必要な電気的特性測定のほか、発光ビームプロファイル計測・FFP計測（放射角度分布計測）・IVL計測・偏光計測等の光学的な特性測定をウエハレベルで行うことが可能です。

セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用プローバシステムと、当社のプローバ用高機能光計測用光学系　M-Scope I/PFW、FFP計測光学系　M-Scope type F、IVL計測モジュール　PMD002/IVL、偏光測定モジュール　PMD002/POLとSMU・光スペクトラムアナライザ等の各種測定器を組み合わせて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・データ収集を行います。また、セミオートプローバとの組み合わせで、量産デバイスの自動測定にも対応可能です。

製品の特長

  • マニュアルプローバ・セミオートプローバとの組み合わせにより、VCSEL等の発光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能
  • フォームファクター社製セミオートプローバシステムとの連動機能により、各種測定の自動化・高速化・省力化を実現
  • 当社製プローバ用光計測用光学系　M-Scope type I/PFWやFFP計測光学系　M-Scope type F等各種M-Scopeシリーズ光学系、測光モジュールPMD002/IVL・PMD002/POL を搭載可能。測定項目にあわせた光学系セレクションとシステムアップが可能。
  • 当社製光計測・解析ソフトウエア　Optometrics Customized Version for LDを搭載。セミオートプローバの制御・連動による解析の自動化、当社光学系により取得した光学特性データや各種測定器からのデータの統合収集管理、測定品種や測定レシピの管理を一元化可能。個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能。

製品の主な応用

  • VCSEL等の発光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析
    • I-V-L特性、発光ビームプロファイル（NFP・FFP）解析、偏光特性、発光スペクトル解析等

製品の構成・コンポーネントセレクション

装置の構成図（下記は一例です。構成は対象サンプル・計測項目により変わります。）
装置の基本構成例（下記は構成例です。構成は対象サンプル・計測項目により変わります。）
  • 計測光学系セレクション
  • 測光モジュールセレクション
  • 検出器
  • プローバシステム
    • セミオートプローバ　または　マニュアルプローバ
    • プローバに関してはフォームファクター株式会社WEBをご参照ください。
  • プローバ用光学系調整機構
    • 光学系調整機構（光学系切替機構、光学系用電動ステージシステム）
    • プローバ搭載用光学系設置架台
    • プローバ搭載用フレーム・ブラケット類
  • システム電装制御部
    • データ処理・装置制御用コンピュータ
    • 光学系調整機構制御部（電動ステージコントロールシステム）
    • プローバ連動光素子測定ソフトウエア（Optometrics Customized Version for LD）
    • インターフェイス関連（GPIB、画像取込ボード等）
  • 計測用光源・測定器
    • 計測器
      • ソースメータ・光スペクトラムアナライザ・LDパルス試験システム等の各種測定器
  • アクセサリ・周辺機器・付帯設備
    • 装置カバー付防振台
    • システムラック
    • その他付帯設備
  • ウエハレベル発光素子光学特性測定装置は、カスタム仕様製品です。お客様のご要求仕様に合わせたシステム構成・ソフトウエア処理をご提案します。
  • プローバシステムの機種選定・測定器の機種選定は、フォームファクター株式会社および測定器メーカとの詳細お打合せが必要となります。

計測・制御ソフトウエア

プローバ連動光素子測定ソフトウエア　Optometrics Customized for LDの概要

本ソフトウエアでは、プローバ・光学系調整機構・各種計測機器の連動制御による測定データの収集・管理を行います。測定条件・測定レシピ・測定フローの管理・収集データの管理を行います。

計測項目は、測定対象・測定内容・使用する計測器・測定手順や運用により変わります。本装置では、測定対象サンプル・測定内容・測定手順・接続する計測器等によりソフトウエアのカスタマイズが必要となります。下記は測定項目の一例です。

  • 測定項目例
    • 光ビームプロファイル計測・解析
      • NFP計測
      • FFP計測
    • IVL計測
    • 偏光消光比特性計測
    • 発光スペクトル計測
  • 上記の各測定には、計測機器や光源などの測定機器選定が別途必要となります。

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