光テスター/光配線導波路高速導通検査装置は、光配線基板用の多チャンネルポリマー光導波路各チャンネルの導通を高速・高精度で検査する装置です。
測定光一括照射方式と高速導通検査ソフトウエアにより、複数チャンネルの光導波路の光導通を一度にかつ迅速に測定することが可能です。これにより、従来のファイバ調芯による損失測定方式では実現できなかった光配線導波路量産段階における高速光導通テストが可能となりました。
光配線板では、光導波路を形成した基板上に送信・受信用の発光・受光素子を実装し、電気信号-光信号-電気信号の変換を介して信号伝送を行います。このため、光の通り道となる光導波路の導通テストを行うことは必須の条件となります。
従来、光導波路の導通測定には、光導波路入出射端において光ファイバ調芯による位置決めを行い、光導波路の導波損失を測定する方法は一般的でした。しかしながら、この方式では1チャンネルごとにファイバ調芯を行う必要があり、非常に長い検査時間を要し、量産段階での導通検査の際の大きなボトルネックとなっていました。
この問題を解決するために、当社では、
| 広域一括均一励振光源ユニット | ||
|---|---|---|
| 出射N.A. | 0.57 | |
| 均一照射面サイズ | 約φ4mm（ギャップ 5mm） | |
| 照射面内光量均一度 | 約±2％ | |
| 測定光源中心波長 | 850nm（波長半値幅：±40nm） | |
| 最大出射光量 | 約15mW | |
| 出射光量安定度 | ±1％ | |
| 専用高N.A.型計測光学系 | ||
| 受光N.A. | 0.4 | |
| 計測実倍率 | 5倍（20倍対物レンズ使用時） | |
| 実観察・計測視野 | 約1.41mm×1.05mm | |
| 検出器（高精度CMOS検出器 ISA071） | ||
| 有効画素数 | 2048×1536画素（約320万画素） | |
| ピクセルピッチ | 3.45×3.45μm角 | |
| 素子サイズ | 1/1.8インチ | |
| 諧調 | 12bit | |
