光応用計測・検査装置 汎用光ビームプロファイル計測システム
NFP/FFP同時計測装置
製品の概要
NFP/FFP同時計測装置
NFP/FFP同時観察計測装置は、NFP計測（近視野像観察）とFFP計測（遠視野像観察）を同一の光学系で実現した装置です。従来、NFP計測とFFP計測は別々の専用光学系を用いて計測する必要がありました。当社製NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type Dを使用することで、光学系の交換をすることなくNFP/FFPの同時計測が可能となります。
当社製各種画像検出器・光ビーム解析モジュール AP013との組み合わせにより、さまざまな光デバイスのNFP計測・光ビーム形状観察や光ビームプロファイル計測・解析に使用することができます。
光検出器の選択により、400nm～1700nm波長帯でのさまざまなシステム構築が可能です。
製品の特長
- NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type Dを使用。
- NFP計測（近視野像計測）とFFP計測（遠視野像計測）を単一光学系で同時計測可能
- 専用光学系と画像処理によるリアルタイム計測
- FFP計測時のワーキングディスタンスは約17mmの超作動距離。
- 光検出器の選択により、400～1700nm波長域測定に対応可能
- 可視~1100nm：高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GLが適しています。
- 950~1700nm：InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2等が適しています。
- 解析装置・光ビーム解析ソフトウエア・検出器ドライバ・補正データがセットになった 光ビーム解析モジュール AP013
- オールインワンパッケージで導入後直ちに使用が可能。
- 光ビームプロファイル計測用に開発された光ビーム計測・解析ソフトウエア Optimetrics BA Standard
- 当社が光ビームプロファイル計測用に独自開発した画像処理・解析ソフトウエア。
- 高いシステム拡張性
- 各種精密位置決めステージとの組み合わせによるシステムアップが可能。
- 各種自動精密位置決めステージ・画像処理との組み合わせにより、調整工程の自動化にも対応可能。
製品の主な応用
- 各種光デバイス・光モジュールのNFP/FFP同時計測
- 各種光導波路の出射端面NFPと放射角度分布（N.A.）の計測
- バタフライモジュール第一レンズ（コリメータレンズ）・第二レンズ（集光レンズ）の実装調整やビーム品質の評価等
製品の構成・コンポーネントセレクション
装置の構成図
コンポーネントセレクション
- NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type D
- （計測波長）ハーフミラー等の光学部品への適切なARコートが必要となるため、計測波長をご指定ください。
- 検出器
- 400~1100nm：高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL
- 950~1700nm：InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2
- 光ビーム解析モジュール AP013
- データ処理装置本体、検出器ドライバ、光ビーム計測解析ソフトウエア Optometrics BA Standard、補正用データ
- 付属品
- 付属ケーブル類、マニュアル関連等
オプション・アクセサリ セレクション
- 対物レンズ（NFP/FFP同時計測時の対物レンズは50倍固定となります。）
- FFP計測用対物レンズ：50倍（固定）
- NFP計測用対物レンズ：各種対物レンズが使用可能です
- 光学系本体オプション
- 2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2
- 光学系の総合拡大倍率を2倍にする中間レンズユニットです。100倍対物レンズとの組合せで最大200倍の光学倍率になります。
- 1/2倍中間レンズポート MS-OP011-RLH
- 光学系の総合拡大倍率を1/2倍にする中間レンズユニットです。
- 着脱式落射照明ポート MS-OP011-CEP
- ハーフミラー着脱式の同軸落射照明ポートです。測定の際にはハーフミラーを外すことができます。
- NDフィルタ
- 可視用（400-700nm）：NDF-5
- 近赤外用（700nm-1100nm）：NDF NIR-5
- 赤外用（1310nm-1550nm）：NDF IR-5
- NDフィルタはこちらをご参照ください。
- 同軸落射照明装置
- 可視～近赤外用：同軸落射LED照明装置
- 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
- 光学系用架台
- 光ファイバ測定用光学系架台
- 縦型光学系設置架台
- 光学系用架台に関してはこちらをご参照ください。
- ソフトウエア：ご要求により、自動調整機能、自動計測機能等特注ソフトウエアの開発・実装が可能です。