個片サンプルローダ・アンローダ機構付光テスター/光配線導波路高速導通検査装置は、個片サンプル自動給排機構を搭載したポリマー光導波路高速・高精度導通自動検査装置です。
個片サンプル給排機構を搭載することで、個片サンプル測定時のサンプルセッティングの手間を大幅に軽減し、検査効率とスループットの大幅改善が可能です。また、測定光一括照射方式と高速導通検査ソフトウエアにより、複数チャンネルの光導波路の光導通を一度にかつ迅速に測定することが可能です。従来のファイバ調芯による損失測定方式では実現できなかった光配線導波路の量産高速光導通検査が可能となります。
光配線板では、光導波路を形成した基板上に送信・受信用の発光・受光素子を実装し、電気信号-光信号-電気信号の変換を介して信号伝送を行います。このため、光の通り道となる光導波路の導通テストを行うことは必須の条件となります。
従来、光導波路の導通測定には、光導波路入出射端において光ファイバ調芯による位置決めを行い、光導波路の導波損失を測定する方法は一般的でした。しかしながら、この方式では1チャンネルごとにファイバ調芯を行う必要があり、非常に長い検査時間を要し、量産段階での導通検査の際の大きなボトルネックとなっていました。
この問題を解決するために、当社では、
個片サンプルをサンプルトレイから測定部に供給、また測定が終了したサンプルをサンプルトレイに自動的に整列する機構です。
通常光テスターでは、専用の個片サンプル測定用サンプルホルダに手作業で個片サンプルを並べて設置、測定を行います。個片サンプル自動ローダ・アンローダ機構を搭載することで、個片サンプル測定の効率化が可能です。
サンプルトレイにおかれた個片サンプルは、ロボットアームにより吸着されます。吸着されたサンプルは位置決め用カメラと画像認識処理により位置・傾きの調整が行われ、サンプル測定部に精度よく自動的に設置されます。
また、測定が終了したサンプルは、自動的に測定部からサンプルトレイに回収されます。測定結果によるNG判定サンプルに関しては、NGサンプル回収用のサブトレイに回収することも可能です。
個片サンプル自動ローダ・アンローダ機構によりサンプル測定部に精度よく整列された個片サンプルは、光テスターにより高速に導通測定・判定処理が行われます。
自動サンプルローダ・アンローダ機構と光テスタによる高速導通測定方式の併用により、個片サンプル型の光配線導波路の導通検査時間を大幅に短縮し、検査のスループットを改善することができます。
測定内容に関しては、従来の光テスターと同様に、光導通測定（相対損失測定）と判定、デフォーカス測定、コアピッチ・コア位置計測等の処理・測定に対応可能です。
| 広域一括均一励振光源ユニット | ||
|---|---|---|
| 出射N.A. | 0.57 | |
| 均一照射面サイズ | 約φ4mm（ギャップ 5mm） | |
| 照射面内光量均一度 | 約±2％ | |
| 測定光源中心波長 | 850nm（波長半値幅：±40nm） | |
| 最大出射光量 | 約15mW | |
| 出射光量安定度 | ±1％ | |
| 専用高N.A.型計測光学系 | ||
| 受光N.A. | 0.4 | |
| 計測実倍率 | 5倍（20倍対物レンズ使用時） | |
| 実観察・計測視野 | 約1.41mm×1.05mm | |
| 検出器（高精度CMOS検出器 ISA071） | ||
| 有効画素数 | 2048×1536画素（約320万画素） | |
| ピクセルピッチ | 3.45×3.45μm角 | |
| 素子サイズ | 1/1.8インチ | |
| 諧調 | 12bit | |
