光応用計測・検査装置 測光モジュール製品
IVL測定モジュール PMD002/IVL
製品の概要
IVL測定モジュール PMD002/IVL
IVL測定モジュール PMD002/IVLは、半導体レーザやVCSEL等発光素子のIVL特性を簡単 に測定可能な測光モジュールです。センサは18mm角大口径フォトダイオードを使用、広い放射角をカバーできます。
小型軽量のIVL測定センサヘッドは、単体での使用の他、 当社製高機能NFP計測光学系 M-Scope type Sの対物レンズレボルバにも装着が可能です。また、プローバへの搭載・組合せによって、VCSEL等のウエハレベルIVL測定にも使用できます。
製品の特長
- 18mm角大型Siフォトダイオードを使用。広いN.A.をカバー。
- 減光フィルタの併用で広い測定パワーレンジ。
- 当社製高機能NFP計測光学系M-Scope type Sの手動レボルバ部に装着が可能。
- プローバシステムへの装着と使用が可能。ウェハレベルでVCSELのIVL計測に対応可能。
製品の主な応用
- 各種発光素子のIVL特性の解析
製品の主な仕様
| 計測方式 | 大面積SiPD素子＋ソースメジャメントユニット |
|---|---|
| 計測波長域 |
|
| 最大感度波長（λp) | 960nm |
| 受光感度(λ=λp) | 0.66W |
| ワーキングディスタンス | 約10mm |
| N.A. | 約±30°（計測対象光束径約10μmφの場合） |
| 受光N.A. | 0.4 |
| 測定レンジ（at 940nm） |
|
製品の構成・コンポーネントセレクション
装置の構成図
装置の構成品
- 標準構成品
- IVL測定モジュール PMD002/IVL
- センサヘッド
- 減光フィルタ2種類（ND 10%、ND 0.5%）
- IVL測定ソフトウエア Optometrics IVL basic
- オプション
- 測定器 ソースメジャメントユニット
- Keithley製2600シリーズ（CW測定）
- Keithley製2520（パルス測定対応）
- その他のメーカ・機種のSMUに関しては別途ご相談ください。
IVL測定ソフトウエア Optometrics IVL basic
IVL測定ソフトウエア Optometrics IVL basicは、IVL測定モジュール PMD002/IVLとSMUを使用してIVL測定を行う基本ソフトウエアです。PMD002/IVLに付属しています。以下の基本的な機能を有しています。
- 測定パラメータ
- しきい値電流（Ith)・電圧（Vth）
- 駆動電流（If）・電圧（Vf）
- 光出力（Pf:Ifでの光出力）
- スロープ効率（SEf：Ifでの傾き） 等
- 機能
- グラフ表示機能
- 計測条件設定機能
- データの保存
- グラフデータの保存
- グラフデータのcsv出力