光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要
高機能NFP計測光学系 M-Scope type S

M-Scope type S

高機能NFP計測光学系 M-Scope type Sは、半導体レーザ等の各種発光デバイス、光ファイバや光導波路等の各種光デバイス・光モジュールの発光ビームパターン観察、NFP計測、光ビームプロファイル計測解析用の高機能光学系です。400~1700nm波長帯のレーザビームプロファイラに最適な高機能光学系です。

手動レボルバを搭載し、観察用対物レンズ倍率の変更が容易に可能です。また、同軸落射照明ポート・同軸落射照明装置(オプション)を装備すれば、光ファイバや光導波路の端面・LDチップ面の顕微鏡画像観察等の実像観察が可能です。

光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析から、各種光デバイスの組立調整等幅広く応用が可能です。また、当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによる高機能レーザビームプロファイラ・NFP計測システムの構築が可能です。

製品の特長

  • 手動4穴対物レンズレボルバを標準装備。最大4本の対物レンズ倍率切替が容易に可能
  • 最大200倍の観察光学倍率(*オプションの2倍中間レンズポートと対物レンズ100倍の組み合わせ使用時)
  • 着脱式落射照明ポート(オプション)を準備。同軸落射照明装置(オプション)との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。  
  • 検出器の選択により、400nmから1700nm波長域の光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析が可能
    *光センサセレクションは、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高機能NFP計測システムが構築可能。エンサークルドフラックス解析にも対応。

応用分野

  • 400~1700nm波長帯用レーザビームプロファイラ
  • 各種発光素子の発光ビームプロファイル計測 ・NFP計測
    • 半導体レーザやレーザデバイス、各種光ファイバ、各種光導波路、光モジュール、光学モジュール等
  • Siフォトニクスデバイスの研究開発
  • 光配線基板やポリマー光導波路、光コネクタ等の研究開発
  • GI型マルチモード光ファイバのエンサークルドフラックス計測
  • その他、可視~近赤外域の汎用ビームプロファイル計測一般

製品の主な仕様

光学系本体の主な仕様

対物レンズ切替 手動4穴レボルバによる(対物レンズ4本同時装着可能)
対物レンズ ミツトヨ製M-Plan Apoシリーズに対応(標準)
中間レンズ倍率 1倍(標準)、2倍・1/2倍(オプション)
最大光学倍率 標準:100倍(100倍対物レンズ仕様時)
オプション:200倍(対物レンズ100倍×2倍中間レンズポート)
着脱式落射照明ポート オプション(外形φ8mm、ハーフミラー着脱式)、同軸落射照明装置は別売
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ(NDフィルタ)挿入方式
(最大2枚まで同時挿入可能)
カメラマウント Cマウント

(参考仕様)主な光センサ・対物レンズの組合せによる計測画角と画素分解能 (計算値)

検出器の種類 高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2
検出波長域 400-1100nm 950-1700nm
撮像面積 1/1.8" 約6.4mm x 5.12mm
有効画素数 2048x 1536画素 320 x 256画素
対物レンズ 中間レンズ 総合倍率 計測画角 画素分解能*1 計測画角 画素分解能 *1
10倍 1倍 10倍 約700μmx520μm 約0.345um 約640umx512um 約2um
20倍 1倍 20倍 約350umx260um 約0.173um 約320umx256um 約1um
50倍 1倍 50倍 約140umx100um 約0.069um 約128umx102.4um 約0.4um
100倍 1倍 100倍 約70umx50um 約0.035um 約64umx51.2um 約0.2um
2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2  を使用した場合
10倍 2倍 20倍 約350umx260um 約0.173um 約320umx256um 約1um
20倍 2倍 40倍 約175umx130um 約0.0865um 約160umx128um 約0.5um
50倍 2倍 100倍 約70umx50um 約0.035um 約64umx51.2um 約0.2um
100倍 2倍 200倍 約35umx25m 約0.0175um 約32umx25.6um 約0.1um

*1 画素分解能:計測画角/検出器画素数で計算した検出器1画素相当の長さです。

高機能NFP計測光学系の方式

サンプルから出射した測定光は、初段対物レンズにより拡大され、結像レンズにより光学系後段の画像検出器に結像されます。検出器に取り込まれた画像はPC上で処理され、サンプルの発光ビームプロファイルやビーム幅、パワー分布等の解析を行います。また、同軸落射照明を使用すれば、サンプル表面の顕微画像の観察ができます。

製品の構成

高機能NFP計測光学系 M-Scope type S 標準構成品

  • 光学系本体(光学系本体・4穴手動レボルバ・フィルタポート) 1式
  • 光学系保持固定用架台 1式

オプション

  • 中間レンズポート
    • 2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2
      • 光学系の総合拡大倍率を2倍にする中間レンズユニットです。100倍対物レンズとの組合せで最大200倍の光学倍率になります。
    • 1/2倍中間レンズポート MS-OP011-RLH
      • 光学系の総合拡大倍率を1/2倍にする中間レンズユニットです。
  • 着脱式落射照明ポート MS-OP011-CEP
    • ハーフミラー着脱式の同軸落射照明ポートです。測定の際にはハーフミラーを外すことができますので、ハーフミラーの影響による干渉縞の影響なく測定が可能です。
  • 対物レンズ
    • 対物レンズのセレクションはこちら、および上記計測画角・画素分解能をご参照ください。
  • 検出器
  • NDフィルタ
    • NDフィルタはこちらをご参照ください。
  • 同軸落射照明装置
    • 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
  • 光学系用架台
    • 光ファイバ測定用光学系架台
    • 縦型光学系設置架台
      • 光学系用架台に関してはこちらをご参照ください。

外観図面

高機能光ビームNFP計測光学系 M-Scope type S

本外観図面は参考図です。装着オプション・装着センサにより外観・寸法は変わります。詳細な外観図面は別途ご連絡、ご確認ください。

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