光計測用高機能光学系・光計測システムソリューション

光計測用光学機器関連製品

高機能NFP計測光学系　M-Scope type S

製品の概要
高機能NFP計測光学系　M-Scope type S

mscopetypes

高機能NFP計測光学系　M-Scope type Sは、半導体レーザ等の各種発光デバイス、光ファイバや光導波路等の各種光デバイス・光モジュールの発光ビームパターン観察、NFP計測、光ビームプロファイル計測解析用の高機能光学系です。400~1700nm波長帯のレーザビームプロファイラに最適な高機能光学系です。

手動レボルバを搭載し、観察用対物レンズ倍率の変更が容易に可能です。また、同軸落射照明ポート・同軸落射照明装置（オプション）を装備すれば、光ファイバや光導波路の端面・LDチップ面の顕微鏡画像観察等の実像観察が可能です。

光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析から、各種光デバイスの組立調整等幅広く応用が可能です。また、当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによる高機能レーザビームプロファイラ・NFP計測システムの構築が可能です。

製品の特長

  • 手動4穴対物レンズレボルバを標準装備。最大4本の対物レンズ倍率切替が容易に可能
  • 最大200倍の観察光学倍率（*オプションの2倍中間レンズポートと対物レンズ100倍の組み合わせ使用時)
  • 着脱式落射照明ポート（オプション）を準備。同軸落射照明装置（オプション）との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
  • 検出器の選択により、400nmから1700nm波長域の光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析が可能
    • 画像センサセレクションは、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高機能NFP計測システムが構築可能。エンサークルドフラックス解析にも対応。

製品の主な応用

  • 400~1700nm波長帯用高機能レーザビームプロファイラ
  • 各種発光素子の発光ビームプロファイル計測 ・NFP計測
    • 半導体レーザやレーザデバイス、各種光ファイバ、各種光導波路、光モジュール、光学モジュール等
  • Siフォトニクスデバイスの研究開発
  • 光配線基板やポリマー光導波路、光コネクタ等の研究開発
  • GI型マルチモード光ファイバのエンサークルドフラックス計測
  • その他、可視~近赤外域の汎用ビームプロファイル計測一般

製品の主な仕様

光学系本体の主な仕様
対物レンズ切替 手動4穴レボルバによる（対物レンズ4本同時装着可能）
対物レンズ ミツトヨ製M-Plan Apoシリーズに対応（標準）
中間レンズ倍率 1倍（標準）、2倍または1/2倍（オプション）
最大光学倍率
  • 標準：100倍（100倍対物レンズ仕様時）
  • オプション：200倍（対物レンズ100倍×中間レンズ2倍仕様時）
着脱式同軸落射照明ポート オプション（外形φ8mm、ハーフミラー着脱式）、同軸落射照明装置は別売
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ（NDフィルタ）挿入方式（最大2枚まで同時挿入可能）
カメラマウント Cマウント
主な検出器・対物レンズの組合せによる計測画角と画素分解能一覧（計算値）
【検出器セレクション】高精度CMOS検出器　ISA071/ISA071GL・InGaAs高感度近赤外検出器　ISA041H2
検出器の種類 高精度CMOS検出器　ISA071, ISA071GL InGaAs高感度近赤外検出器　ISA041H2
検出波長域 400-1100nm 950-1700nm
有効画素数 2048×1536画素 320×256画素
セルピッチ 3.45μm角 20μm角
撮像面積 7.065mm×5.299mm (1/1.8") 6.4mm×5.12mm (1/2")
対物レンズ 中間レンズ 総合倍率 計測画角 画素分解能*1 計測画角 画素分解能 *1
10倍 1倍 10倍 約700μm×520μm 約0.345um 約640um×512um 約2um
20倍 1倍 20倍 約350um×260um 約0.173um 約320um×256um 約1um
50倍 1倍 50倍 約140um×100um 約0.069um 約128um×102.4um 約0.4um
100倍 1倍 100倍 約70um×50um 約0.035um 約64um×51.2um 約0.2um
（参考）2倍中間レンズポート　MS-OP011-RL2を使用した場合の計測画角・画素分解能
10倍 2倍 20倍 約350um×260um 約0.173um 約320um×256um 約1um
20倍 2倍 40倍 約175um×130um 約0.0865um 約160um×128um 約0.5um
50倍 2倍 100倍 約70um×50um 約0.035um 約64um×51.2um 約0.2um
100倍 2倍 200倍 約35um×25m 約0.0175um 約32um×25.6um 約0.1um
【検出器セレクション】InGaAs高分解能近赤外検出器　ISA041HRA（SXGA）・ISA041HRVA（VGA）
検出器の種類 InGaAs高分解能近赤外検出器　ISA041HRA InGaAs高分解能近赤外検出器　ISA041HRVA
検出波長域 400-1700nm 400-1700nm
有効画素数 1280×1024画素 640×512画素
セルピッチ 5μm角 5μm角
撮像面積 6.4mm×5.12mm（1/2"） 3.2mm×2.56mm（1/4"）
対物レンズ 中間レンズ 総合倍率 計測画角 画素分解能*1 計測画角 画素分解能 *1
10倍 1倍 10倍 約640μm×512μm 約0.5um 約320umx256um 約0.5μm
20倍 1倍 20倍 約320um×256um 約0.25um 約160um×128um 約0.25um
50倍 1倍 50倍 約128um×102.4um 約0.1um 約64um×51.2um 約0.1um
100倍 1倍 100倍 約64um×51.2um 約0.05um 約32um×25.6um 約0.05um
（参考）2倍中間レンズポート　MS-OP011-RL2を使用した場合の計測画角・画素分解能
10倍 2倍 20倍 約320um×256um 約0.25um 約160um×128um 約0.25um
20倍 2倍 40倍 約160um×128um 約0.125um 約80um×64um 約0.125um
50倍 2倍 100倍 約64um×51.2um 約0.05um 約32um×25.6um 約0.05um
100倍 2倍 200倍 約32um×25.6m 約0.025um 約16um×12.8um 約0.025um

NFP計測光学系の原理

サンプルから出射した測定光は、初段対物レンズにより拡大され、結像レンズにより光学系後段の画像検出器に結像されます。検出器に取り込まれた画像はPC上で処理され、サンプルの発光ビームプロファイルやビーム幅、パワー分布等の解析を行います。また、同軸落射照明を使用すれば、サンプル表面の顕微画像の観察ができます。

製品の構成

標準構成品　高機能NFP計測光学系　M-Scope type S
  • 光学系本体（光学系本体・4穴手動レボルバ・フィルタポート）　1式
  • 光学系保持固定用架台　1式
オプション
  • 中間レンズポート
    • 2倍中間レンズポート　MS-OP011-RL2
      • 光学系の総合拡大倍率を2倍にする中間レンズユニットです。100倍対物レンズとの組合せで最大200倍の光学倍率になります。
    • 1/2倍中間レンズポート　MS-OP011-RLH
      • 光学系の総合拡大倍率を1/2倍にする中間レンズユニットです。
  • 着脱式落射照明ポート　MS-OP011-CEP
    • ハーフミラー着脱式の同軸落射照明ポートです。測定の際にはハーフミラーを外すことができますので、ハーフミラーの影響による干渉縞の影響なく測定が可能です。
  • 対物レンズ
    • 対物レンズのセレクションはこちら、および上記計測画角・画素分解能をご参照ください。
  • 検出器
  • NDフィルタ
    • NDフィルタはこちらをご参照ください。
  • 同軸落射照明装置
    • 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
  • 光学系用架台
    • 光ファイバ測定用光学系架台
    • 縦型光学系設置架台
      • 光学系用架台に関してはこちらをご参照ください。

外観図面

外観図面　M-Scope type S
  • 本外観図面は参考図です。装着オプション・装着センサにより外観・寸法は変わります。詳細な外観図面は別途ご連絡、ご確認ください。

関連製品

システム製品・データ処理解析装置
その他の光計測用光学系

カタログダウンロード