光計測用高機能光学系・光計測システムソリューション

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光源・周辺機器　対物レンズ

対物レンズ

製品の概要
対物レンズ

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対物レンズは、用途・計測対象・使用波長・分解能等により、さまざまな種類の対物レンズ選択が可能です。

可視域用には、超作動距離設計のM-Plan Apoシリーズを推奨しています。

近赤外域用には、近赤外域での波長透過率に優れ、480-1800nm域での色収差補正型のM-Plan Apo NIR対物レンズを推奨します。

また、分解能と開口数が改善された、高分解能型対物レンズ　M-Plan Apo HR対物レンズも選択できます。

対物レンズセレクション（主な仕様）

無限遠補正対物レンズ　M-Plan Apoシリーズ

ミツトヨ製　無限遠補正光学系
超作動距離設計

	N.A.	W.D.(mm)	焦点距離（mm)	分解能（μm）	焦点深度（μm）
M-Plan Apo 5倍	0.14	34.0	40.0	2.0	14.0
M-Plan Apo 10倍	0.28	34.0	20.0	1.0	3.5
M-Plan Apo 20倍	0.42	20.0	10.0	0.7	1.6
M-Plan Apo 50倍	0.55	13.0	4.0	0.5	0.9
M-Plan Apo 100倍	0.7	6.0	2.0	0.4	0.6

高分解能タイプ　無限遠補正対物レンズ　M-Plan Apo HRシリーズ

ミツトヨ製　高分解能・高N.A.タイプ

	N.A.	W.D.(mm)	焦点距離（mm)	分解能（μm）	焦点深度（μm）
M-Plan Apo HR 5倍	0.21	25.5	40.0	1.3	6.2
M-Plan Apo HR 10倍	0.42	15.0	20.0	0.6	1.55
M-Plan Apo HR 50倍	0.75	5.2	4.0	0.3	0.5
M-Plan Apo HR 100倍	0.90	1.3	2.0	0.3	0.3

近赤外無限遠補正対物レンズ　M-Plan Apo NIRシリーズ

ミツトヨ製　480~1800nm帯色収差補正タイプ

	N.A.	W.D.(mm)	焦点距離（mm)	分解能（μm）	焦点深度（μm）
M-Plan Apo NIR 5倍	0.14	37.5	40.0	2.0	14.0
M-Plan Apo NIR 10倍	0.26	30.5	20.0	1.1	4.1
M-Plan Apo NIR 20倍	0.4	20.0	10.0	0.7	1.7
M-Plan Apo NIR 50倍	0.42	17.0	4.0	0.7	1.6
M-Plan Apo NIR 100倍	0.50	12.0	2.0	0.6	1.1

近赤外・高分解能タイプ　無限遠補正対物レンズ　M-Plan Apo NIR　HRシリーズ

ミツトヨ製　NIRシリーズ分解能性能向上タイプ
近赤外対応　高N.A.対物レンズ

	N.A.	W.D.(mm)	焦点距離（mm)	分解能（μm）	焦点深度（μm）
M-Plan Apo NIR HR 50倍	0.65	10.0	4.0	0.42	0.65
M-Plan Apo NIR HR 100倍	0.70	10.0	2.0	0.39	0.56

近紫外～可視無限遠補正対物レンズ　M-Plan Apo NUVシリーズ

ミツトヨ製　近紫外～可視用

	N.A.	W.D.(mm)	焦点距離（mm)	分解能（μm）	焦点深度（μm）
M-Plan Apo NUV 10倍	0.28	30.5	20.0	1.0	3.5
M-Plan Apo NUV 20倍	0.4	17.0	10.0	0.7	1.7
M-Plan Apo NUV 50倍	0.42	15.0	4.0	0.7	1.6
M-Plan Apo NUV 100倍	0.50	11.0	2.0	0.6	1.1

対物レンズの倍率と実視野・画素分解能の目安（参考）

画素分解能：センサ1ピクセル相当の長さ。下記は、実視野サイズを画素数で割って求めた計算値です。
NFP光学系の2倍中間レンズポート（オプション）を装着した場合は、上記対物レンズの2倍相当の実観察倍率（例：10倍対物レンズ使用 ×　2倍中間レンズポート使用 = 実観察倍率20x相当）として計算します。

使用センサ	ISA071・ISA071GL		ISA041H2
種類	高精度CMOS検出器		InGaAs高感度近赤外検出器
画素サイズ	１/1.8inch（7.06mm×5.29ｍｍ）		1/2inch（ 6.4mm ×5.12mm）
画素数	2048 × 1536		320 × 256
倍率	実視野(mm)	画素分解能(μm)	実視野(mm)	画素分解能(μm)
5×	1.41×1.05	0.69	1.28×1.024	4
10×	0.70×0.52	0.345	0.64×0.512	2
20×	0.35×0.26	0.173	0.32×0.256	1
50×	0.14×0.10	0.069	0.13×0.102	0.4
100×	0.07×0.05	0.035	0.06×0.051	0.2

使用センサ	ISA041HRA		ISA041HRVA
種類	InGaAs高分解能近赤外検出器（QVGA）		InGaAs高分解能近赤外検出器（VGA）
画素サイズ	１/2inch（6.4mm×5.12ｍｍ）		1/4inch（3.2ｍｍ×2.56ｍｍ）
画素数	1280×1024		640×512
倍率	実視野(mm)	画素分解能(μm)	実視野(mm)	画素分解能(μm)
5×	1.28×1.024	1	0.64×0.512	1
10×	0.64×0.512	0.5	0.32×0.256	0.5
20×	0.32×0.256	0.25	0.16×0.128	0.25
50×	0.128×0.102	0.1	0.064×0.051	0.1
100×	0.06×0.051	0.05	0.032×0.025	0.05

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