光計測用高機能光学系・光計測システムソリューション

光計測用光学機器関連製品

簡易型NFP計測光学系　M-Scope type L

製品の概要
簡易型NFP計測光学系　M-Scope type L

mscopetypel

簡易型NFP光学系　M-scope type Lは、単眼タイプ（手動レボルバ無）、同軸落射照明ポート無の、小型・廉価型NFP計測光学系です。400~1700nm波長帯のレーザビームプロファイラに適した簡易型NFP計測光学系です。

小型筐体のため、装置への組み込み使用にも適しています。センサや対物レンズの選択は、弊社の光センサラインナップ、対物レンズラインナップの中から各種選択が可能です。

当社光ビーム計測モジュール　AP013との組み合わせによる簡易型レーザビームプロファイラ・NFP計測システムの構築が低コストで可能です。

製品の特長

  • 単眼仕様（対物レンズの付け替えによる交換は可能）・落射照明ポート無の簡易型・廉価型光学系。高いコストパフォーマンス。
  • 検出器の選択により、400nmから1700nm波長域の光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析が可能
    • 画像センサセレクションは、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、低価格簡易型でレーザビームプロファイラ・NFP計測システムが構築可能。エンサークルドフラックス解析にも対応。
  • 小型筐体で装置への組み込みや各種ステージシステムへの搭載も容易

製品の主な応用

  • 400~1700nm波長帯用高機能レーザビームプロファイラ
  • 各種発光素子の発光ビームプロファイル計測 ・NFP計測
    • 半導体レーザやレーザデバイス、各種光ファイバ、各種光導波路、光モジュール、光学モジュール等
  • Siフォトニクスデバイスの研究開発
  • 光配線基板やポリマー光導波路、光コネクタ等の研究開発
  • GI型マルチモード光ファイバのエンサークルドフラックス計測
  • その他、可視~近赤外域の汎用ビームプロファイル計測一般

製品の主な仕様

光学系本体の主な仕様
対物レンズ切替 対物レンズの付け替えによる（手動レボルバ無）
対物レンズ ミツトヨ製M-Plan Apoシリーズに対応（標準）
中間レンズ倍率 1倍
最大光学倍率 100倍（100倍対物レンズ仕様時）
着脱式同軸落射照明ポート 非対応につき装着不可
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ（NDフィルタ）挿入方式（最大2枚まで同時挿入可能）
カメラマウント Cマウント
主な検出器・対物レンズの組合せによる計測画角と画素分解能一覧 （計算値）
【検出器セレクション】高精度CMOS検出器　ISA071/ISA071GL・InGaAs高感度近赤外検出器　ISA041H2
検出器の種類 高精度CMOS検出器　ISA071, ISA071GL InGaAs高感度近赤外検出器　ISA041H2
検出波長域 400-1100nm 950-1700nm
有効画素数 2048×1536画素 320×256画素
セルピッチ 3.45μm角 20μm角
撮像面積 7.065mm×5.299mm (1/1.8") 6.4mm×5.12mm (1/2")
対物レンズ 中間レンズ 総合倍率 計測画角 画素分解能*1 計測画角 画素分解能 *1
10倍 1倍 10倍 約700μm×520μm 約0.345um 約640um×512um 約2um
20倍 1倍 20倍 約350um×260um 約0.173um 約320um×256um 約1um
50倍 1倍 50倍 約140um×100um 約0.069um 約128um×102.4um 約0.4um
100倍 1倍 100倍 約70um×50um 約0.035um 約64um×51.2um 約0.2um
【検出器セレクション】InGaAs高分解能近赤外検出器　ISA041HRA（SVGA）・ISA041HRVA（VGA）
検出器の種類 InGaAs高分解能近赤外検出器　ISA041HRA InGaAs高分解能近赤外検出器　ISA041HRVA
検出波長域 400-1700nm 400-1700nm
有効画素数 1280×1024画素 640×512画素
セルピッチ 5μm角 5μm角
撮像面積 6.4mm×5.12mm（1/2"） 3.2mm×2.56mm（1/4"）
対物レンズ 中間レンズ 総合倍率 計測画角 画素分解能*1 計測画角 画素分解能 *1
10倍 1倍 10倍 約640μm×512μm 約0.5um 約320umx256um 約0.5μm
20倍 1倍 20倍 約320um×256um 約0.25um 約160um×128um 約0.25um
50倍 1倍 50倍 約128um×102.4um 約0.1um 約64um×51.2um 約0.1um
100倍 1倍 100倍 約64um×51.2um 約0.05um 約32um×25.6um 約0.05um

製品の構成

標準構成品　簡易型NFP計測光学系　M-Scope type L
  • 光学系本体（単眼仕様光学系本体・フィルタポート）　1式
  • 光学系保持固定用架台　1式
オプション

外観図面

外観図面　M-Scope type L
  • 本外観図面は参考図です。装着オプション・装着センサにより外観・寸法は変わります。詳細な外観図面は別途ご連絡、ご確認ください。

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