光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要
NFP/FFP同時観察光学系 M-Scope type D

NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type Dは、NFP計測(近視野像観察)とFFP計測(放射角度分布像観察)を単一光学系で同時に計測・観察可能な光学系です。

従来、NFP計測とFFP計測を行うには、個別の各専用光学系を使用して計測・観察する必要がありました。M-Scope type Dでは、光学系を切り替えることなく、単一光学系でNFP計測・FFP計測が可能です。

検出器の選択は、弊社の光センサラインナップの中から測定波長や要求分解能にあわせて各種選択が可能です。

当社光ビーム解析モジュール AP013との組み合わせによるNFP/FFP同時光計測システムの構築も可能です。

製品の特長

  • NFP計測(近視野像観察)とFFP計測(放射角度分布像観察)を単一光学系で実現
  • 専用光学系+画像処理方式によるリアルタイム計測
  • 検出器の選択により、400nm~1700nm波長域での光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析が可能
    *検出器セレクションは、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュール AP013との併用により、NFP/FFP同時計測システムの構築が可能。

応用

  • 可視~近赤外LDモジュールのレンズ位置・角度調整や品質評価
  • 半導体レーザ・光ファイバ・光導波路等のビーム形状と出射角の計測・評価
  • バタフライモジュールのコリメートレンズ(第一レンズ)・集光レンズ(第二レンズ)の実装調整と評価
  • その他、各種光デバイスや光学モジュールの研究開発や組立調整

製品の主な仕様

NFP計測ポート
対物レンズ切替 手動4穴レボルバによる(対物レンズ4本同時装着可能)
対物レンズ 50倍(NFP/FFP同時計測時は固定)
*NFP計測機能はミツトヨ製M-Plan Apoシリーズ各倍率に対応
中間レンズ倍率 1倍(標準)、2倍(オプション)
最大光学倍率 標準:50倍(NFP/FFP同時計測時)
オプション:100倍(NFP/FFP同時観察時、対物レンズ50倍×中間レンズ2倍仕様)
同軸落射照明ポート オプション(外形φ8mm、ハーフミラー着脱式)、同軸落射照明装置は別売
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ(NDフィルタ)挿入方式
(最大2枚まで同時挿入可能)
カメラマウント Cマウント
FFP計測ポート
使用対物レンズ倍率 50倍(固定)
計測可能角度範囲 約±24.5°
計測角度画素分解能 高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL 使用時 約0.037°
InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2 使用時 約0.2°
ワーキングディスタンス 約17mm
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ(NDフィルタ)挿入方式
(最大2枚まで同時挿入可能)
カメラマウント Cマウント

NFP/FFP同時計測光学系の方式

NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type Dでは、対物レンズを使用してFFPを 計測します。左図で、発光点から出射した光束は、対物レンズに入射したのち、ハーフミラーで光路が分かれます。ハーフミラーを透過した光束はNFP計測ポート 側に進み、結像レンズを介してNFP計測用の検出器に結像されます。一方、ハーフ ミラーで反射された光束はFFP計測ポート側に進み、FFP用リレーレンズを介して FFP計測用の検出器に結像されます。このようにして、2つの光路に分岐された各 ポートから得られたNFP像、FFP像を画像処理により解析、NFP計測とFFP計測 が単一筐体の光学系で実現されます。

本光学系はNFP/FFPの同時計測目的の光学系で、対物レンズを使用しているため、 測定対象光束径が約100μmφと非常に狭く、測定時にはNFP画像でのピントと位置の厳密な調整が必要となります。また、ハーフミラー分岐を行うため、ハーフミラーには計測波長に合わせた適切なARコートが必要となり、計測波長が限定されます。この点がf-θレンズ方式のFFP計測法と大きく異なる点です。

製品の構成

標準構成品 NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type D

  • NFP/FFP同時計測光学系 本体(NFP計測ポート、FFP計測ポート付) 1式
  • 光学系保持固定用架台 1式

オプション

  • 中間レンズポート
    • 2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2
      • 光学系の総合拡大倍率を2倍にする中間レンズユニットです。100倍対物レンズとの組合せで最大200倍の光学倍率になります。
    • 1/2倍中間レンズポート MS-OP011-RLH
      • 光学系の総合拡大倍率を1/2倍にする中間レンズユニットです。
  • 着脱式落射照明ポート MS-OP011-CEP
    • ハーフミラー着脱式の同軸落射照明ポートです。測定の際にはハーフミラーを外すことができます。
  • 対物レンズ(NFP/FFP同時計測時は50倍のみ使用可能です。)
    • 対物レンズのセレクションはこちらをご参照ください。

関連製品情報

データ処理・解析装置

  • NFP/FFP同時計測装置
    • NFP/FFP同時観察光学系 M-Scope type Dと光ビーム解析モジュールを組合せた光ビーム計測・解析装置です。
  • 光ビーム解析モジュール AP013
    • 光ビームの計測・解析装置です。PC・光ビーム計測・解析ソフトウエア・検出器ドライバ・補正データ等がセットになっておりますので、さまざまな光ビーム計測・解析が可能です。

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