光計測用光学機器関連製品
高出力レーザ用高機能NFP計測光学系 M-Scope type HS
製品の概要
高出力レーザ用高機能NFP計測光学系 M-Scope type HS
高出力レーザ用高機能NFP計測光学系 M-Scope type HSは、出力～10Wクラス高出力レーザのNFP・発光ビームプロファイル計測用光学系です。高出力レーザ用レーザビームプロファイラに最適な高機能型光学系です。
計測対象サンプルから出射された光束は、対物レンズを通過後、2段ビームサンプラーにて約99.99%程度に減光、結像レンズにて２次元画像検出器に結像する方式を採用しています。これにより、さまざまな対物レンズ倍率下で高出力レーザの発光ビームプロファイル・ビーム形状を正確に計測することができます。また、微動ステージと組合せて、光学系を焦点方向に移動させることにより、ビーム形状の出射方向の変化を測定することも可能です。
当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによる高出力レーザ用高機能レーザビームプロファイラ・NFP計測システムの構築が容易に可能です。
製品の特長
- 出力~10Wクラス高出力レーザの発光ビームプロファイルを高精度・リアルタイム測定
- 対物レンズ後方2段ビームサンプラ―と減光フィルタの組合せにより高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰
- さまざまな対物レンズ倍率の選択が可能（M-Plan Apo NIR、M-Plan Apo NUVシリーズ各種対物レンズ）
- 対物レンズ無装着状態でコリメート光計測に対応可能
- 同軸落射照明ポートを標準装備。同軸落射照明装置（オプション）との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
- オプションの同軸落射照明装置は、こちらをご参照ください。
- 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザNFP計測システムの構築が容易に可能。
製品の主な応用
- 出力~10Wクラス高出力レーザ用レーザビームプロファイラ
- 高出力レーザ・高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測・解析
- LiDAR用、レーザヘッドライト用等の車載光エレクトロニクス部品やシステム開発
- 生体認証用レーザモジュールの開発
- その他、医療用、固体レーザ励起用、印刷用等の高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測・解析
製品の主な仕様
光学系本体の主な仕様
| 方式 | 対物レンズ後方2段ビームサンプラー搭載型NFP計測光学系+画像処理解析方式 |
|---|---|
| 減光方式 | 2段ビームサンプラーにより約99.99％減光（反射光はビームダンパーにより遮蔽）、およびフィルタポートへの減光フィルタ挿入併用方式（最大2枚まで同時挿入可能） |
| 偏光依存性補償 | ビームサンプラー内蔵減衰ミラー2段直交配置による偏光依存性補償 |
| 測定可能入射光量 | ~10W（標準）（応相談） |
| 測定対応波長 |
|
| 使用対物レンズ | M-Plan Apo NUV・M-Plan Apo NIR各対物レンズに対応 |
| 対物レンズの切替 | 4穴手動レボルバによる |
| 中間レンズ倍率 | 1倍（標準）、0.5倍・2倍（オプション） |
| 観察画角・画素分解能 | 装着する対物レンズの倍率によります |
| 落射照明ポート | オプション（外形φ8mm、ハーフミラー着脱式）、同軸落射照明装置は別売 |
| カメラマウント | Cマウント |
対応する検出器・対物レンズの組合せによる計測画角と画素分解能一覧（計算値）
| 検出器の種類 | 高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL | |||
|---|---|---|---|---|
| 検出波長域 | 400-1100nm | |||
| 有効画素数 | 2048×1536画素 | |||
| セルピッチ | 3.45μm角 | |||
| 撮像面積 | 7.065mm×5.299mm (1/1.8") | |||
| 対物レンズ | 中間レンズ | 総合倍率 | 計測画角 | 画素分解能*1 |
| 10倍 | 1倍 | 10倍 | 約700μm×520μm | 約0.345um |
| 20倍 | 1倍 | 20倍 | 約350um×260um | 約0.173um |
| 50倍 | 1倍 | 50倍 | 約140um×100um | 約0.069um |
| 100倍 | 1倍 | 100倍 | 約70um×50um | 約0.035um |
| （参考）2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2を使用した場合の計測画角・画素分解能 | ||||
| 10倍 | 2倍 | 20倍 | 約350um×260um | 約0.173um |
| 20倍 | 2倍 | 40倍 | 約175um×130um | 約0.0865um |
| 50倍 | 2倍 | 100倍 | 約70um×50um | 約0.035um |
| 100倍 | 2倍 | 200倍 | 約35um×25m | 約0.0175um |
製品の構成
標準構成品 高出力レーザ用高機能NFP計測光学系 M-Scope type HS
- 光学系本体（4穴手動レボルバ、ビームサンプラー（2段）、ビームダンパー、カメラポート、同軸落射照明ポート、フィルタポート） 1式
- 光学系保持固定用架台 1式
オプション
- 中間レンズポート
- 2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2
- 光学系の総合拡大倍率を2倍にする中間レンズユニットです。100倍対物レンズとの組合せで最大200倍の光学倍率になります。
- 1/2倍中間レンズポート MS-OP011-RLH
- 光学系の総合拡大倍率を1/2倍にする中間レンズユニットです。
- 着脱式落射照明ポート MS-OP011-CEP
- ハーフミラー着脱式の同軸落射照明ポートです。測定の際にはハーフミラーを外すことができますので、ハーフミラーの影響による干渉縞の影響なく測定が可能です。
- 検出器
- 計測波長域：可視域~1100nm
- 検出器の詳細はこちらをご参照ください。
- 対物レンズ
- M-Plan Apo NUVシリーズ、M-Plan Apo NIRシリーズ 各種対物レンズ（ミツトヨ製）等
- 対物レンズはこちらをご参照ください。
- NDフィルタ（M-Scope type HS専用30φNDフィルタ）
- M-Scope type HS/BL用：NDF VIS30-5（10％、5％、1％、0.１％、0.01％ 5枚セット）
- M-Scope type HS/NIR用：NDF NIR30-5（10％、5％、1％、0.１％、0.01％ 5枚セット）
- ダミーフィルタ
- パルス発光・低出力測定用のウエッジ型ダミーフィルタです
- 同軸落射照明装置
- 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
- 光学系用架台
- 光ファイバ測定用光学系架台
- 縦型光学系設置架台
- 光学系用架台に関してはこちらをご参照ください。
外観図面
外観図面 M-Scope type S
- 本外観図面は参考図です。装着オプション・装着センサにより外観・寸法は変わります。詳細な外観図面は別途ご連絡、ご確認ください。