光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要 
ハイパワーレーザ用高機能NFP計測光学系 M-Scope type HS

M-Scope type S

ハイパワーレーザ用高機能NFP計測光学系 M-Scope type HSは、1~10Wクラス高出力レーザのNFP・発光ビームプロファイル計測用光学系です。

計測対象サンプルから出射された光束は、対物レンズを通過後、2段ビームサンプラーにて約99.99%程度に減光、結像レンズにて2次元画像検出器に結像する方式を採用しています。これにより、さまざまな対物レンズ倍率下で高出力レーザの発光ビームプロファイル・ビーム形状を正確に計測することができます。また、微動ステージと組合せて、光学系を焦点方向に移動させることにより、ビーム形状の出射方向の変化を測定することも可能です。

当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによるハイパワーレーザNFP計測システムの構築が容易に可能です。

製品の特長

  • 1W~10W出力クラスハイパワーレーザの発光ビームプロファイルを高精度・リアルタイム測定
  • ビームサンプラー(対物レンズ後方2段)と減光フィルタの組合せにより高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰
  • さまざまな対物レンズ倍率の選択が可能(M-Plan Apo NIR、M-Plan Apo NUVシリーズ各種対物レンズ)
  • コリメート光計測が可能(対物レンズ無装着状態)
  • 同軸落射照明ポートを標準装備。同軸落射照明装置(オプション)との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
    *オプションの同軸落射照明装置は、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザNFP計測システムの構築が容易に可能。

応用分野

  • 高出力レーザ・高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測・解析
  • LiDAR用、レーザヘッドライト用等の車載光エレクトロニクス部品やシステム開発
  • 生体認証用レーザモジュールの開発
  • その他、医療用、固体レーザ励起用、印刷用等の高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測・解析

製品の主な仕様

光学系本体の主な仕様

方式 ビームサンプラー(対物レンズ後方2段)搭載型NFP計測光学系+画像処理解析方式
測定対象入射光量 1~10W
減光方式 2段ビームサンプラーにより約99.99%減光(反射光はビームダンパーにより遮蔽)、およびフィルタポートへの減光フィルタ挿入併用方式(最大2枚まで同時挿入可能) 
測定対応波長域 M-Scope type HS/BL:400nm-450nm
M-Scope type HS/NIR:850nm・940nm
*上記以外の計測波長対応に関してはご相談ください。
偏光依存性補償 ビームサンプラー内蔵減衰ミラー2段直交配置による偏光依存性補償
対物レンズ倍率 M-Plan Apo NUV・M-Plan Apo NIR各対物レンズに対応
対物レンズ切替 4穴手動レボルバによる
中間レンズ倍率 1倍(標準)、0.5倍・2倍(オプション)
観察画角・画素分解能 装着する対物レンズの倍率によります
落射照明ポート 標準(外形8mmφ)、落射照明装置本体はオプション
カメラマウント Cマウント

製品の構成

ハイパワーレーザ用NFP計測光学系 M-Scope type HS 標準構成品

  • 光学系本体(4穴手動レボルバ、ビームサンプラー(2段)、ビームダンパー、カメラポート、同軸落射照明ポート、フィルタポート) 1式
  • 光学系保持固定用架台 1式

オプション

  • 対物レンズ
    • M-Plan Apo NUVシリーズ、M-Plan Apo NIRシリーズ 各種対物レンズ(ミツトヨ製)
  • 検出器
  • 中間2倍レンズポート MS-OP016-RL2
    • 実観察倍率を2倍にする中間リレーレンズポートです。
  • 中間0.5倍レンズポート MS-OP016-RLH
    • 実観察倍率を0.5倍にする中間リレーレンズポートです。
  • NDフィルタ(M-Scope type HS専用30φNDフィルタ)
    • M-Scope type HS/BL用:NDF VIS30-5(10%、5%、1%、0.1%、0.01% 5枚セット)
    • M-Scope type HS/NIR用:NDF NIR30-5(10%、5%、1%、0.1%、0.01% 5枚セット)
  • 同軸落射照明装置
    • 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
  • 光学系用架台
    • 光ファイバ測定用光学系架台
    • 縦型光学系設置架台
      • 光学系用架台に関してはこちらをご参照ください。

外観図面

外観図面 M-Scope type HS

本外観図面は参考図です。装着オプション・装着センサにより外観・寸法は変わります。詳細な外観図面は別途ご連絡、ご確認ください。

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データ処理・解析装置

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