光計測用光学機器関連製品
高出力レーザ用NFP計測光学系 M-Scope type HL
製品の概要
高出力レーザ用NFP計測光学系 M-Scope type HL
高出力レーザ用NFP計測光学系 M-Scope type HLは、出力~10Wクラス高出力レーザの発光ビームプロファイル計測に最適な、高出力レーザ計測対応レーザビームプロファイラ用光学系です。
計測対象サンプルから出射された光束をビームサンプラーにて約5%程度を反射させ、その反射光を対物レンズ・結像レンズにて２次元画像検出器に結像する方式を採用しています。これにより、高出力レーザの発光ビームプロファイル・ビーム形状を正確に計測することができます。
検出器の選択は、弊社光センサラインナップの中から、測定波長や要求分解能にあわせて各種選択が可能です。また、当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによる高出力レーザ用レーザビームプロファイラ・NFP計測システムの構築が容易に可能です。
製品の特長
- 対物レンズ前段ビームサンプラーと減光フィルタにより高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰
- 最大20倍の観察光学倍率（オプションの2倍中間レンズポート×対物レンズ10倍仕様時）
- 同軸落射照明ポートを標準装備。同軸落射照明装置（オプション）との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
- オプションの同軸落射照明装置は、こちらをご参照ください。
- 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザNFP計測システムの構築が容易に可能。
製品の主な応用
- 出力~10Wクラス高出力レーザ用レーザビームプロファイラ
- 高出力レーザ・高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測・解析
- LiDAR用、レーザヘッドライト用等の車載光エレクトロニクス部品やシステム開発
- 生体認証用レーザモジュールの開発
- その他、医療用、固体レーザ励起用、印刷用等の高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測・解析
製品の主な仕様
光学系本体の主な仕様
| 方式 | 対物レンズ前1段ビームサンプラー搭載型NFP計測光学系+画像処理解析方式 |
|---|---|
| 測定対応波長 | 400nm-1100nmの計測対応波長範囲から計測波長を選択 |
| 測定可能入射光量 | ~10W（標準）（応相談） |
| 減光方式 | ビームサンプラーにより約5%の反射光を光学系に導入、およびフィルタポートへの減光フィルタ挿入併用方式 |
| 対物レンズ倍率 | 10倍 |
| N.A. | 0.28 |
| 中間レンズ倍率 | 1倍（標準）、2倍（オプションの中間レンズ2倍仕様時） |
| 最大光学倍率 |
|
| 落射照明ポート | オプション（外形φ8mm、ハーフミラー着脱式）、同軸落射照明装置は別売 |
| カメラマウント | Cマウント |
対応する検出器と計測画角・画素分解能
| 検出器の種類 | 高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL | |
|---|---|---|
| 検出波長域 | 400-1100nm | |
| 有効画素数 | 2048×1536画素 | |
| セルピッチ | 3.45μm角 | |
| 撮像面積 | 7.065mm×5.299mm (1/1.8") | |
| 計測画角・画素分解能 | ||
| 倍率 | 計測画角 | 画素分解能 |
| 10倍（標準） | 約706μm×529μm | 約0.345um |
| 20倍（対物10倍×中間2倍） | 約353um×264um | 約0.17um |
製品の構成
標準構成品 高出力レーザ用NFP計測光学系 M-Scope type HL
- 光学系本体（10倍対物レンズ 単眼、ビームサンプラーユニット、カメラポート、同軸落射照明ポート、フィルタポート） 1式
- 光学系保持固定用架台 1式
オプション
- 中間レンズポート
- 2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2
- 光学系の総合拡大倍率を2倍にする中間レンズユニットです。100倍対物レンズとの組合せで最大200倍の光学倍率になります。
- 1/2倍中間レンズポート MS-OP011-RLH
- 光学系の総合拡大倍率を1/2倍にする中間レンズユニットです。
- 着脱式落射照明ポート MS-OP011-CEP
- ハーフミラー着脱式の同軸落射照明ポートです。測定の際にはハーフミラーを外すことができますので、ハーフミラーの影響による干渉縞の影響なく測定が可能です。
- 検出器
- 計測波長域：可視域~1100nm
- 検出器の詳細はこちらをご参照ください。
- NDフィルタ
- NDフィルタはこちらをご参照ください。
- 同軸落射照明装置
- 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
- 光学系用架台
- 光ファイバ測定用光学系架台
- 縦型光学系設置架台
- 光学系用架台に関してはこちらをご参照ください。