光計測用光学機器関連製品
コリメート光計測光学系 M-Scope type C
製品の概要
コリメート光計測光学系 M-Scope type C
コリメート光計測光学系 M-Scope type C は、コリメータレンズモジュール等のコリメート光の拡がり角度（平行度）測定用光学系です。 専用光学系＋画像処理方式により、コリメート光の拡がり角度の状態が高分解能かつリアルタイムで観察・計測可能です。これにより、コリメータモジュールのコリメートレンズや、バタフライモジュール第一レンズ等の位置調整が容易に可能です。
画像検出器の選択は、弊社の光センサラインナップの中から測定波長や要求分解能にあわせて各種選択が可能です。
当社光ビーム解析モジュール AP013との組み合わせによるコリメート光計測システムの構築も可能です。
製品の特長
- 専用光学系＋画像処理方式により、出射角度の状態（コリメート光の平行度）をリアルタイムで観察・計測可能
- 検出器の選択により、400nm~1700nm波長域の計測に対応可能
- 専用光学系による高い計測角度分解能。高精度でのコリメート光調整が可能
- 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高精度コリメート光計測システムが構築可能
製品の主な応用
- 可視~近赤外LDモジュールのコリメートレンズ調整
- コリメータビームの品質評価
- コリメータモジュールの実装調整・実装後の品質評価
- バタフライモジュール第一レンズ（コリメータレンズ）の実装調整
製品の主な仕様
光学系本体の主な仕様
| 計測方式 | 専用光学系＋画像処理解析方式 |
|---|---|
| 光学系セレクション (焦点距離） |
|
| 減光方式 | フィルタポートへの減光フィルタ（NDフィルタ）挿入方式 （最大２枚まで同時挿入可能） |
| カメラマウント | Cマウント |
検出器セレクションと計測角度範囲・画素分解能
【検出器セレクション】高精度CMOS検出器 ISA071/ISA071GL・InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2
| 検出器の種類 | 高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL | InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2 | ||
|---|---|---|---|---|
| 検出波長域 | 400-1100nm | 950-1700nm | ||
| 有効画素数 | 2048×1536画素 | 320×256画素 | ||
| セルピッチ | 3.45μm角 | 20μm角 | ||
| 撮像面積 | 7.065mm×5.299mm (1/1.8") | 6.4mm×5.12mm (1/2") | ||
| 光学系 | 計測角度範囲 | 画素分解能 | 計測角度範囲 | 画素分解能 |
| M-Scope type C/200 | 約±1.01°×±0.75° | 約0.001° | 約±0.91°×±0.73° | 約0.0058° |
| M-Scope type C/150 | 約±1.34°×±1.01° | 約0.0013° | 約±1.22°×±0.97° | 約0.0077° |
| M-Scope type C/100 | 約±2.02°×±1.51° | 約0.002° | 約±1.83°×±1.46° | 約0.0115° |
【検出器セレクション】InGaAs高分解能近赤外検出器 ISA041HRA
| 検出器の種類 | InGaAs高分解能近赤外検出器 ISA041HRA | |
|---|---|---|
| 検出波長域 | 400-1700nm | |
| 有効画素数 | 1280×1040画素 | |
| セルピッチ | 5μm角 | |
| 撮像面積 | 6.4mm×5.12mm (1/2") | |
| 光学系 | 計測角度範囲 | 画素分解能 |
| M-Scope type C/200 | 約±0.91°×±0.73° | 約0.00145° |
| M-Scope type C/150 | 約±1.22°×±0.97° | 約0.00192° |
| M-Scope type C/100 | 約±1.83°×±1.46° | 約0.00287° |
コリメート光計測光学系の原理
サンプルから出射した光束はコリメータレンズに入射します。各角度成分を平行光束と考えると、光軸に平行な光束は光軸上の焦点面上の1点に集光されます。一方、入射角度θの平行光束は、焦点距離fと入射角θの関係から結像位置（検出器）のhの位置に結像されます。光束が広がり角を持つと、拡がり角によって結像位置でのビームスポットの大きさが変わります。このようにして結像位置に結像されたビームスポットの画像処理解析を行い、コリメートビームの平行状態をリアルタイムかつ高分解能で解析します。
製品の構成
標準構成品 コリメート光計測光学系 M-Scope type C
- 光学系本体（光学系本体・フィルタポート） 1式
- 光学系保持固定用架台 1式
オプション
外観図面
外観図面 M-Scope type C/200
- 本外観図面は参考図です。装着オプション・装着センサにより外観・寸法は変わります。詳細な外観図面は別途ご連絡、ご確認ください。