光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要 
ハイパワーレーザ用NFP・FFP同時計測光学系 M-Scope type HD

M-Scope type HD

ハイパワーレーザ用NFP・FFP同時計測光学系 M-Scope type HDは、1~10Wクラス高出力青色レーザのNFP計測とFFP計測を同一光学系にて行うことが可能な光学系です。

計測対象サンプルから出射された光束は、対物レンズを通過後、2段ビームサンプラーにて約99.99%程度に減光、結像レンズにて2次元画像検出器に結像する方式を採用しています。光学系には、NFP計測ポートとFFP計測ポートが搭載されており、光学系に入射した光束は両計測ポートに分岐されて検出器にリレーされます。これにより、単一光学系を用いてNFP計測とFFP計測を同時に行うことができます。

当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによるハイパワーレーザNFP・FFP同時計測システムの構築が容易に可能です。

製品の特長

  • 1W~10W出力クラスハイパワー青色レーザのNFP計測・FFP計測を単一光学系により同時に測定可能。
  • ビームサンプラー(対物レンズ後方2段)と減光フィルタの組合せにより高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰
  • 同軸落射照明ポートを標準装備。同軸落射照明装置(オプション)との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
    *オプションの同軸落射照明装置は、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザのNFP・FFP同時計測システムの構築が容易に可能。

応用分野

  • 青色高出力レーザ・青色高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やFFP(放射角度分布)計測・解析

製品の主な仕様

光学系本体の主な仕様

方式 ビームサンプラー(対物レンズ後方2段)搭載型NFP・FFP同時計測光学系+画像処理解析方式
測定対象入射光量 1~10W
減光方式 2段ビームサンプラーにより約99.99%減光(反射光はビームダンパーにより遮蔽)、およびフィルタポートへの減光フィルタ挿入併用方式(最大2枚まで同時挿入可能) 
測定対応波長域 M-Scope type HD:400nm-460nm
*上記以外の計測波長対応に関してはご相談ください。
偏光依存性補償 ビームサンプラー内蔵減衰ミラー2段直交配置による偏光依存性補償
使用検出器 高精度デジタルCCD検出器 ISA011
使用対物レンズ NFP/FFP同時計測時:M-Plan Apo NUV50倍対物レンズに対応(単眼・NFP計測は他の倍率も使用可能)
対物レンズの交換 単眼、対物レンズの付替えによる
NFP計測機能 計測視野(画角):約124µm×96μm角
計測画素分解能:約0.042µm
FFP計測機能 FFP計測角度範囲:約±24°
計測角度画素分解能:約0.2°
中間レンズ倍率(NFP計測) 1倍(標準)、0.5倍・2倍(オプション)
落射照明ポート 標準(外形8mmφ)、落射照明装置本体はオプション
カメラマウント Cマウント

製品の構成

ハイパワーレーザ用NFP・FFP同時計測光学系 M-Scope type HD 標準構成品

  • 光学系本体(単眼、ビームサンプラー(2段)、ビームダンパー、NFP計測ポート、FFP計測ポート、同軸落射照明ポート、フィルタポート) 1式
  • 光学系保持固定用架台 1式

オプション

  • 対物レンズ
    • M-Plan Apo NUV 50倍(NFP・FFP同時計測時、固定倍率)
    • NFP計測用M-Plan Apo NUVシリーズ各種対物レンズ(ミツトヨ製)
  • 検出器
  • NFP計測用中間2倍レンズポート MS-OP016-RL2
    • NFP計測時の実観察倍率を2倍にする中間リレーレンズポートです。
  • NFP計測用中間0.5倍レンズポート MS-OP016-RLH
    • NFP計測時の実観察倍率を0.5倍にする中間リレーレンズポートです。
  • NDフィルタ(標準、φ25mm)
    • NDF VIS-5(10%、5%、1%、0.1%、0.01% 5枚セット)
  • 同軸落射照明装置
    • 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。
  • 光学系用架台
    • 光ファイバ測定用光学系架台
    • 縦型光学系設置架台
      • 光学系用架台に関してはこちらをご参照ください。

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