光計測用光学機器関連製品
青色高出力レーザ用NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type HD/BL
製品の概要
青色高出力レーザ用NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type HD/BL
高出力レーザ用NFP・FFP同時計測光学系 M-Scope type HDは、出力～10Wクラス高出力青色レーザのNFP計測とFFP計測を同一光学系にて行うことが可能な光学系です。
計測対象サンプルから出射された光束は、対物レンズを通過後、2段ビームサンプラーにて約99.99%程度に減光、結像レンズにて２次元画像検出器に結像する方式を採用しています。光学系には、NFP計測ポートとFFP計測ポートが搭載されており、光学系に入射した光束は両計測ポートに分岐されて検出器にリレーされます。これにより、単一光学系を用いてNFP計測とFFP計測を同時に行うことができます。
当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによる高出力レーザ用NFP/FFP同時計測システムの構築が容易に可能です。
製品の特長
- 出力~10Wクラス高出力青色レーザのNFP計測・FFP計測を単一光学系により同時に測定可能。
- 対物レンズ後方2段ビームサンプラ―と減光フィルタの組合せにより高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰
- 同軸落射照明ポートを標準装備。同軸落射照明装置（オプション）との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
- オプションの同軸落射照明装置は、こちらをご参照ください。
- 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザ用NFP/FFP同時計測システムの構築が容易に可能。
製品の主な応用
- 青色高出力レーザ・青色高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やFFP（放射角度分布）計測・解析
製品の主な仕様
光学系本体の主な仕様
| 青色高出力レーザ用NFP/FFP同時計測光学系 本体共通 | |
|---|---|
| 方式 | ビームサンプラー（対物レンズ後方2段）搭載型NFP/FFP同時計測光学系+画像処理解析方式 |
| 測定対象入射光量 | ~10W（応相談） |
| 減光方式 |
|
| 測定対応波長域 |
|
| 偏光依存性補償 | ビームサンプラー内蔵減衰ミラー2段直交配置による偏光依存性補償 |
| 使用対物レンズ | NFP/FFP同時計測時：M-Plan Apo NUV50倍対物レンズに対応（単眼・NFP計測は他の倍率も使用可能） |
| NFP計測ポート（NFP計測機能） | |
| 対物レンズの交換 | 単眼、対物レンズの付替えによる |
| 中間レンズ倍率（NFP計測） | 1倍（標準）、0.5倍・2倍（オプション） |
| 落射照明ポート | 標準（外形8ｍｍφ）、落射照明装置本体はオプション |
| カメラマウント | Cマウント |
| FFP計測ポート（FFP計測機能） | |
| 測定対象光束径 | 約0.1mmφ |
| 減光方式 | フィルタポートへの減光フィルタ（NDフィルタ）挿入方式 （最大2枚まで同時挿入可能） |
| カメラマウント | Cマウント |
検出器セレクションと計測画角・画素分解能（NFP計測）・計測角度範囲・角度画素分解能（FFP計測）
| 検出器の種類 | 高精度CMOS検出器 ISA071, ISA071GL | |
|---|---|---|
| 検出波長域 | 400-1100nm | |
| 有効画素数 | 2048×1536画素 | |
| セルピッチ | 3.45μm角 | |
| 撮像面積 | 7.065mm×5.299mm (1/1.8") | |
| NFP計測（倍率:50倍） | 計測画角 | 画素分解能 |
| 約140μm×100μm | 約0.069μm | |
| FFP計測 | 計測角度範囲 | 計測角度画素分解能 |
| 約±24° | 約0.037° | |
製品の構成
標準構成品 青色高出力レーザ用NFP/FFP同時計測光学系 M-Scope type HD/BL
- 光学系本体（単眼、ビームサンプラー（2段）、ビームダンパー、NFP計測ポート、FFP計測ポート、同軸落射照明ポート、フィルタポート） 1式
- 光学系保持固定用架台 1式
オプション
- 対物レンズ
- M-Plan Apo NUV 50倍（NFP・FFP同時計測時、固定倍率）
- NFP計測用M-Plan Apo NUVシリーズ各種対物レンズ（ミツトヨ製）
- 検出器
- 計測対象波長域：400~460nm
- 中間レンズポート
- 2倍中間レンズポート MS-OP011-RL2
- 光学系の総合拡大倍率を2倍にする中間レンズユニットです。100倍対物レンズとの組合せで最大200倍の光学倍率になります。
- 1/2倍中間レンズポート MS-OP011-RLH
- 光学系の総合拡大倍率を1/2倍にする中間レンズユニットです。
- NDフィルタ（標準、φ25mm）
- NDF VIS-5（10％、5％、1％、0.１％、0.01％ 5枚セット）
- 同軸落射照明装置
- 同軸落射照明装置はこちらをご参照ください。