光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要
ウエハレベル受光素子光学特性測定装置

ウエハレベル受光素子特性測定装置は、フォトダイオードや受光センサ等各種受光素子の電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。受光用光半導体素子の特性計測に必要な電気的特性測定のほか、測定光導入による光学特性の測定をウエハレベルで行うことが可能です。

セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用プローバシステムと、当社のプローバ用高機能光計測用光学系 M-Scope I/PFW、測定用光源、測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・データ収集を行います。また、セミオートプローバとの組み合わせで、量産デバイスの自動測定にも対応可能です。

特長

  • マニュアルプローバ・セミオートプローバとの組み合わせにより、フォトダイオードや受光センサ等の受光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能
  • フォームファクター社製セミオートプローバシステムとの連動機能により、各種測定の自動化・高速化・省力化を実現
  • 当社製プローバ用光計測用光学系 M-Scope type I/PFW他各種M-Scopeシリーズ光学系を搭載可能。測定項目にあわせた光学系セレクションとシステムアップが可能。
  • 当社製光計測・解析ソフトウエア Optometrics Customized Version for PDを搭載。セミオートプローバの制御・連動による解析の自動化、当社光学系により取得した光学特性データや各種測定器からのデータの統合収集管理、測定品種や測定レシピの管理を一元化可能。個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能。

応用

  • フォトダイオード等各種受光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析
    • フォトダイオード等受光素子のI-V特性、光感度、暗電流、容量、変調周波数特性、立上り・立下り、トレランス、クロストーク等

装置構成例

ウエハレベル受光素子測定装置 システム構成例(下記は一例です。構成は対象サンプル・計測項目により変わります。)

システム構成例

  • 計測光学系セレクション
  • 検出器
  • プローバ用光学系調整機構
    • 光学系調整機構(光学系用電動ステージシステム)(手動ステージシステムも選定可能)
    • 光学系調整機構制御部(電動ステージコントロールシステム)
    • プローバ搭載機構
  • プローバ
  • データ処理部
    • データ処理・装置制御用コンピュータ
    • プローバ連動光素子測定ソフトウエア(Optometrics Customized Version for PD)
    • インターフェイス関連(GPIB、画像取込ボード等)
  • 測定器・測定用光源
    • 測定器
      • ソースメータ・光パワーメータ・半導体デバイスアナライザ・光コンポーネントアナライザ・LCRメータ・ネットワークアナライザ・オシロスコープ等の各種測定器
    • 測定用光源
      • レーザ光源・広帯域光源・変調光源等の各種測定用光源装置
  • 周辺機器
    • 装置カバー付防振台
    • 装置ラック

ソフトウエアと計測項目例

Optometrics Customized Version for PD

計測項目は、測定対象・測定内容・使用する測定器・測定手順や運用によりかわります。本装置では、測定サンプル・測定内容・測定手順・接続する測定器等によりソフトウエアのカスタマイズが必要となります。下記は測定項目の一例です。

  • 受光解析
    • I-V特性
    • 光感度
    • 分光感度
    • 容量
    • 変調周波数特性
    • 立上り・立下り
    • トレランスやクロストーク等

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