光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要

偏光測定モジュール PMD002/POLは、空間偏光子回転方式の偏光消光比測定モジュールです。コリメートされた入射光の偏光状態を直接測定します。また、対物レンズを使用すれば、光ファイバや半導体レーザの出射偏光状態を測定できます。

偏光測定センサヘッドは、単体での使用の他、プローバへの搭載・組合せによって、VCSEL等のウエハレベル偏光測定にも使用できます。

特長

  • 高速かつ高い分解能・再現精度で偏光消光比測定が可能。
  • パルス回転ステージにより偏光子の回転を制御。高い角度精度。
  • 対物レンズの装着が可能。光ファイバの他、各種レーザやVCSEL等の空間光測定も可能
  • 大口径ビームの測定が可能(φ10mmコリメート光まで測定可能)
  • プローバシステムへの装着と使用が可能。ウェハレベルでVCSELの偏光計測に対応可能。

応用

  • 各種発光素子の偏光消光比の測定解析

製品の主な仕様・機能

  • 計測方式:空間偏光子回転方式
  • 計測波長域:
    • 400~700nm用:PMD002/POL VIS
    • 600~1100nm用:PMD002/POL NIR
    • 900~1700nm用:PMD002/POL IR(開発中)
  • 入射光量と消光比測定レンジ
    • 入射光量 0.01~0.1mW:20dB
    • 入射光量 0.1~1mW:30dB
    • 入射光量 1~4mW:40dB
  • 消光比測定再現性:±0.5dB
  • 消光比表示分解能:0.01dB
  • 計測対象光束径:最大約10mmφ(コリメート光)
  • 計測角度範囲:360°
  • 最小角度分解能:約0.09°
  • 角度測定分解能:±0.5°(フィッティング使用時)
  • 減光方式:フィルタポートへの減光フィルタ挿入方式(センサヘッド入射部に1枚挿入可能)

装置構成例

システム構成例

システム構成例

  • 標準構成品
    • 偏光測定モジュール PMD002/POL 
      • センサヘッド
      • コントロールユニット   
      • 偏光測定ソフトウエア Optometrics POLbasic
  • オプション
    • 各種測定用架台
    • 対物レンズ
    • 減光フィルタ

ソフトウエアと計測項目例

偏光グラフ表示

 

方位角vsパワーグラフ表示

  • ソフトウエアの主な機能
    • 偏光測定ソフトウエア Optometrics POL basic
      • 測定パラメータ
        • 消光比
        • 方位角
        • 全入射パワー
        • 方位角方向のパワー
      • 機能
        • グラフ表示機能
        • 方位角消光比vsパワー表示機能
        • フィッティング機能
        • 計測条件設定機能
      • データの保存
        • グラフデータの保存
        • グラフデータのcsv出力

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