光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要

IVL測定モジュール PMD002/IVLは、半導体レーザやVCSEL等発光素子のIVL特性を簡単 に測定可能な測光モジュールです。センサは18mm角大口径フォトダイオードを使用、広い放射角をカバーできます。

小型軽量のIVL測定センサヘッドは、単体での使用の他、 当社製高機能NFP計測光学系 M-Scope type Sの対物レンズレボルバにも装着が可能です。また、プローバへの搭載・組合せによって、VCSEL等のウエハレベルIVL測定にも使用できます。

特長

  • 18mm角大型Siフォトダイオードを使用。広いN.A.をカバー。
  • 減光フィルタの併用で広い測定パワーレンジ。
  • 当社製高機能NFP計測光学系M-Scope type Sの手動レボルバ部に装着が可能。
  • プローバシステムへの装着と使用が可能。ウェハレベルでVCSELのIVL計測に対応可能。

応用

  • 各種発光素子のIVL特性の解析

製品の主な仕様・機能

  • 計測方式:大面積SiPD素子+ソースメジャメントユニット
  • 計測波長域:340nm~1000nm(PMD002/IVL VIS)
    • 赤外(900~1700nm)用(PMD002/IVL IR)は開発中
  • 最大感度波長(λp):960nm
  • 受光感度(λ=λp):0.66W
  • ワーキングディスタンス:約10mm
  • N.A.:約±30°(計測対象光束径約10μmφの場合)
  • 測定レンジ(at 940nm)
    • ~15mW(ND:無)
    • ~95mW(ND:10%)
    • ~770mW(ND:0.5%)

装置構成例

システム構成例

システム構成例

  • 標準構成品
    • IVL測定モジュール PMD002/IVL 
      • センサヘッド
      • 減光フィルタ2種類(ND 10%、ND 0.5%)
      • IVL測定ソフトウエア Optometrics IVL basic
  • オプション
    • 測定器 ソースメジャメントユニット
      • Keithley製2600シリーズ(CW測定)
      • Keithley製2520(パルス測定対応)
        • その他のメーカ・機種のSMUに関しては別途ご相談ください。

ソフトウエアと計測項目例

Optometrics IVL basic

  • ソフトウエアの主な機能
    • IVL計測ソフトウエア Optometrics IVL basic
      • 測定パラメータ
        • しきい値電流(Ith)・電圧(Vth)
        • 駆動電流(If)・電圧(Vf)
        • 光出力(Pf:Ifでの光出力)
        • スロープ効率(SEf:Ifでの傾き) 等
      • 機能
        • グラフ表示機能
        • 計測条件設定機能
      • データの保存
        • グラフデータの保存
        • グラフデータのcsv出力

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