光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要

ウエハレベル光素子特性測定装置は、VCSELやLEDなどの発光素子、フォトダイオードや照度センサなどの受光素子の電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。

光半導体デバイスでは、通常の半導体特性等の電気的特性測定のほか、光学特性の測定を行う必要があります。このような測定をウエハレベルで行う場合、プローバにより光半導体素子の電極にプローブコンタクトを行い、光半導体素子を動作させた状態で測定・解析を行う必要があります。

当社のウエハレベル光素子光学特性測定装置は、セミオートプローバやマニュアルプローバ等の半導体故障解析用プローバシステムと、当社の各種光計測用光学系 M-Scopeシリーズ、測定光源、測定器等を組合せて、光半導体素子の電気・光学諸特性をウエハレベルで解析・データ収集を行うシステムです。また、セミオートプローバとの組み合わせにより、ウエハの自動測定に対応することも可能です。

特長

  • マニュアルプローバ・セミオートプローバとの組み合わせにより、発光素子・受光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能
  • カスケードマイクロテック社製セミオートプローバシステムとの連動機能により、各種測定の自動化・高速化・省力化を実現
  • 当社製光計測用光学系 M-Scopeシリーズ各種光学系を搭載可能。発光素子・受光素子の測定項目にあわせた光学系セレクションとシステムアップが可能。
  • 当社製光計測・解析ソフトウエア Optometrics Customized Versionを搭載。セミオートプローバの制御・連動による解析の自動化、当社光学系により取得した光学特性データや各種測定器からのデータの統合収集管理、測定品種や測定レシピの管理を一元化可能。個別素子の測定からインライン使用まで幅広く対応可能。

応用

  • 発光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析
    • VCSEL等発光素子のI-V-L特性、発光ビームプロファイル解析、発光波長解析、変調周波数特性解析等
  • 各種受光素子の電気・光学特性のウエハレベル解析
    • フォトダイオード等受光素子のI-V特性、光感度、暗電流、容量、変調周波数特性、立上り・立下り、トレランス、クロストーク等

装置構成例

システムブロック図(下記は一例です。構成は対象・目的により変わります。)

システム構成例

ソフトウエアと計測項目例

Optometrics Customized Version

計測項目は、測定対象・測定内容・使用する測定器・測定手順や運用によりかわります。本装置では、測定内容や手順によりソフトウエアのカスタマイズが必要となります、下記は測定項目の一例です。

  • 発光解析
    • I-V-L特性
    • 発光ビームパターン解析(NFP解析・FFP解析)
    • 発光波長
    • 変調周波数特性 など
  • 受光解析
    • I-V特性
    • 光感度
    • 分光感度
    • 容量
    • 変調周波数特性
    • 立上り・立下り
    • トレランスやクロストーク など

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