光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要 
高機能NFP計測光学系 M-Scope type S

M-Scope type S

高機能NFP計測光学系 M-Scope type Sは、半導体レーザ等の各種発光デバイス、光ファイバや光導波路等の各種光デバイス・光モジュールの発光ビームパターン観察、NFP計測、光ビームプロファイル計測解析用の高機能光学系です。

手動レボルバを搭載し、観察用対物レンズ倍率の変更が容易に可能です。また、同軸落射照明ポートを装備し、光ファイバや光導波路の端面・LDチップ面の顕微鏡画像観察等の実像観察が可能です。

光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析から、各種光デバイスの組立調整等幅広く応用が可能です。また、当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによるNFP計測システムの構築が可能です。

製品の特長

  • 手動4穴対物レンズレボルバを標準装備。最大4本の対物レンズ倍率切替が容易に可能
  • 最大200倍の観察光学倍率(*オプションの2倍中間レンズポート×対物レンズ100倍仕様時)
  • 同軸落射照明ポートを標準装備。同軸落射照明装置(オプション)との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
    *オプションの同軸落射照明装置は、こちらをご参照ください。
  • 光センサの選択により、可視域から近赤外域までの光ビーム観察・光ビームプロファイル計測解析が可能
    *光センサセレクションは、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、エンサークルドフラックス解析に対応。

応用分野

  • 半導体レーザや各種レーザデバイスのビームプロファイル計測 ・NFP計測
  • 各種光ファイバ出射端NFP計測・ビームプロファイル計測
  • 光導波路出射端のNFP計測・ビームプロファイル計測
  • 光配線導波路出射端のNFP計測・ビームプロファイル計測
  • 各種光モジュール・光学モジュールのNFP計測・ビームプロファイル計測
  • GI型マルチモード光ファイバのエンサークルドフラックス計測
  • その他、可視~近赤外域の汎用ビームプロファイル計測一般

製品の主な仕様

光学系本体の主な仕様

対物レンズ切替 手動4穴レボルバによる(対物レンズ4本同時装着可能)
対物レンズ ミツトヨ製M-Plan Apoシリーズに対応(標準)
中間レンズ倍率 1倍(標準)、2倍(オプション)
最大光学倍率 標準:100倍(100倍対物レンズ仕様時)
オプション:200倍(対物レンズ100倍×中間レンズ2倍仕様時)
同軸落射照明ポート 標準(外形φ8mm)、同軸落射照明装置はオプション
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ(NDフィルタ)挿入方式
(最大2枚まで同時挿入可能)
カメラマウント Cマウント

(参考仕様)主な光センサ・対物レンズの組合せによる計測画角と画素分解能 (計算値)

検出器の種類 高精度デジタルCCD検出器 ISA011 InGaAs高感度近赤外検出器 ISA041H2
検出波長域 400-1100nm 950-1700nm
撮像面積 1/2インチ(約6.5mm x 4.8mm) 約6.4mm x 5.12mm
有効画素数 1392 x 1040画素 320 x 256画素
対物レンズ 中間レンズ 総合倍率 計測画角 画素分解能*1 計測画角 画素分解能 *1
10倍 1倍 10倍 約647μmx484μm 約0.465um 約640umx512um 約2um
20倍 1倍 20倍 約324umx242um 約0.233um 約320umx256um 約1um
50倍 1倍 50倍 約129umx97um 約0.093um 約128umx102.4um 約0.4um
100倍 1倍 100倍 約64.7umx48.4um 約0.0465um 約64umx51.2um 約0.2um
オプションの中間2倍レンズポートを使用した場合
10倍 2倍 20倍 約324umx242um 約0.233um 約320umx256um 約1um
20倍 2倍 40倍 約162umx121um 約0.116um 約160umx128um 約0.5um
50倍 2倍 100倍 約64.7umx48.4um 約0.0465um 約64umx51.2um 約0.2um
100倍 2倍 200倍 約32.4umx24.2m 約0.023um 約32umx25.6um 約0.1um

*1 画素分解能:計測画角/検出器画素数で計算した検出器1画素相当の長さです。

製品の構成

高機能NFP計測光学系 M-Scope type S 標準構成品

  • 光学系本体(4穴手動レボルバ、カメラポート、同軸落射照明ポート、フィルタポート) 1式
  • 光学系保持固定用架台 1式

オプション

外観図面

高機能光ビームNFP計測光学系 M-Scope type S

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