光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要
小型・汎用型光照射・受光計測光学系 M-Scope type J

小型・汎用型光計測用光学系 M-Scope type Jは、光照射計測・受光計測用の光計測用光学系です。同軸観察用カメラを搭載し、光照射位置・受光位置の位置合わせが簡単に可能です。光学系は、測定対象や測定に使用する波長にあわせて最適なレンズや光学部品を選択・装着することができます。これにより、最適な光学条件で各種測定を行うことが可能です。

受光素子の光入射測定、発光素子の受光測定、バイオ細胞への光入射測定など、幅広く応用が可能です。

M-Scope type Jには、標準タイプ以外に、偏光依存性対策型のM-Scope type J/PFがあります。

製品の特長

  • 光ファイバポートを搭載。測定光のサンプルへの導入、測定光を光ファイバで受光等さまざまな使い方が可能。
    • 測定光照射計測
      • 被測定サンプルに測定用光源からの測定光をピンポイントで照射します。
    • 測定光受光計測
      • サンプルからの被測定光を光ファイバにリレーし、パワー・波長・応答等の光特性を測定します。
  • 同軸画像観察ポートを搭載。測定光のサンプルへの導入位置、受光位置を同軸観察カメラで直接観察可能。
    • 同軸観察カメラポートを搭載しています。サンプルへの測定光照射時には、照射位置を同軸観察することにより、サンプルにピンポイントで確実に測定光を照射できます。また、サンプルからの測定光受光時には、受光計測位置を同じく同軸観察することにより、測定対象からの光を確実に光ファイバにリレーできます。また、発光状態を直接観察することができます。

製品の主な応用

  • 各種受光素子への測定光照射による光学特性の測定・解析
  • 各種発光素子からの測定光受光による光学特性の測定・解析
  • ウエハレベルでの各種光半導体素子の光学特性測定・解析
  • 光モジュール・レンズモジュールの組立調整や品質評価
  • 光照射による半導体デバイスの故障解析
  • 光照射によるバイオ・生物分野の研究
  • その他、光照射・受光計測、画像計測、検査、研究開発一般

製品の主な仕様

光ファイバポート

  • 測定光照射機能:光ファイバ計測ポートに接続された光ファイバのコア相当径の測定光を1:1でサンプル面に照射
  • 受光測定機能:光ファイバ計測ポートに接続された光ファイバのコア相当径の測定光を1:1でサンプル面から受光、光ファイバに結合
  • 上記照射・受光径比率は10倍対物レンズ使用時(標準)
照射径
  • 10倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径を1:1で照射・受光
  • 20倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径の1/2で照射・受光
  • 50倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径を1/5で照射・受光
  • 100倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径を1/10で照射・受光
対物レンズ切替 単眼(対物レンズの付替えによる)
対物レンズ ミツトヨ製M-Plan Apoシリーズに対応(標準)
観察用カメラポート
中間レンズ倍率
1倍(標準)
観察カメラポート
最大光学倍率
標準:100倍(100倍対物レンズ仕様時)
同軸落射照明ポート 標準(外形φ8mm)、同軸落射照明装置はオプション
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ(NDフィルタ)挿入方式
(最大2枚まで同時挿入可能)
カメラマウント Cマウント

製品の構成

コンポーネントセレクション

標準構成品 小型汎用型光照射・受光計測光学系 M-Scope type J

  • 高機能光照射・受光計測光学系 M-Scope type J 本体 1式
    • 標準鏡筒(光ファイバ計測ポート、画像計測ポート、同軸落射照明ポートの3分岐型)
    • 光ファイバ計測用ポート(10倍対物レンズ使用時に光ファイバコア径を1:1で照射・受光)
    • 画像計測用ポート(1倍)
    • 同軸落射照明接続ポート(外形8mmφ)

オプション

応用製品・関連製品

偏光依存性対策型 光照射・受光計測光学系 M-Scope type J/PF

測定光の導入・照射にシングルモード光ファイバを使用した計測を行う場合、外部環境の影響により、光ファイバに曲げや圧力等の応力がかかることで、シングルモードファイバ内部で偏光状態が変化することがあります。光路2分岐・3分岐光学系で光路分岐用にハーフミラー(HM)を使用する場合、ハーフミラー(HM)の偏光依存性の影響で、偏光状態が変化することによる計測系全体での測定精度の安定性が悪化することがあります。

M-Scope type J/PFは、特殊なHMの配置構造をとることにより偏光の影響を除去、偏光特性を有するサンプル計測時でも安定した高い精度での計測を実現した光学系です。

光学系方式超微細導波路損失測定装置(M-Scope type J 応用製品)

光学系方式超微細導波路損失測定装置は、当社の光照射・受光計測光学系 M-Scope type Jを使用した、光学系方式の超微細導波路用挿入損失測定装置です。

シリコンフォトニクス導波路や近接光学素子のような超微細構造を有する光導波路型デバイスの挿入損失の高速・高精度測定が可能です。同軸観察カメラにより、被測定光導波路の入射側・出射側コア端面画像が直接観察できます。これにより、画像により測定光の入射・受光位置に直接位置決め可能で、測定光をダイレクトにコアに導入・また導波路からの出射光を受光することが可能です。

高倍率対物レンズ・電動ステージと画像処理・自動調芯ソフトウエアを使用することで、超微細導波路の挿入損失測定を高速かつ再現性よく効率的に実行可能です。

詳しくはこちらをご参照ください。

外観図面

外観図面 M-Scope type J

技術情報

カタログダウンロード