光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要
高機能型光照射・受光計測光学系 M-Scope type I

mscopetypei

高機能型光照射・受光計測光学系 M-Scope type Iは、光照射計測・受光計測・光ビームプロファイル計測等の多目的な光応用計測用に設計された高機能型光計測用光学系です。光計測用光ファイバポートと画像処理・解析用画像検出器用ポートを搭載し、複数の光計測を実現できます。また、目的に応じたさまざまな光学計測用コンポーネントを増設可能で、計測目的や計測項目、計測タクト等、使用目的にあわせた光学計測ユニットを容易に構築することが可能です。光学系は、測定対象や測定に使用する波長にあわせて最適なレンズや光学部品を選択・装着することができます。これにより、最適な光学条件で各種測定を行うことが可能です。

受光素子の光入射測定、発光素子の受光測定、光ビームプロファイル測定の光計測から、バイオ細胞への光入射測定等、幅広い分野・用途への応用が可能です。

M-Scope type Iには、標準タイプ以外に、偏光依存性対策型のM-Scope type I/PF高結合効率型のM-Scope type I/HEがあります。

製品の特長

  • 光計測用光ファイバ接続用ポートを搭載。光ファイバ出力型光源を使用した測定光のサンプルへの導入、測定光を光ファイバへリレーして光ファイバで受光・測定等さまざまな使い方が可能。
    • 測定光照射計測
      • 被測定サンプル面に測定用光源からの測定光をピンポイントで照射します。
    • 測定光受光計測
      • サンプルからの被測定光を光ファイバにリレーし、パワー・波長・応答等の光特性を測定します。
  • 同軸画像観察ポートを搭載。測定光のサンプルへの導入位置、受光位置を同軸観察カメラで直接観察可能。また、光ビームプロファイル計測も可能。
    • 同軸観察カメラポートを搭載しています。サンプルへの測定光照射時には、照射位置を同軸観察することにより、サンプルにピンポイントで確実に測定光を照射できます。また、サンプルからの測定光受光時には、受光計測位置を同じく同軸観察することにより、測定対象からの光を確実に光ファイバにリレーできます。また、発光状態を直接観察することができますので、ビームプロファイル計測等の光ビーム計測用途にも使用できます。

製品の主な応用

  • 各種受光素子への測定光照射による光学特性の測定・解析
  • 各種発光素子からの測定光受光による光学特性の測定・解析
  • ウエハレベルでの各種光半導体素子の光学特性測定・解析
  • 光モジュール・レンズモジュールの組立調整や品質評価
  • 光照射による半導体デバイスの故障解析
  • 光照射によるバイオ・生物分野の研究
  • その他、光照射・受光計測、画像計測、検査、研究開発一般

製品の主な仕様

光ファイバポート

  • 測定光照射機能:光ファイバ計測ポートに接続された光ファイバのコア相当径の測定光を1:1でサンプル面に照射
  • 受光測定機能:光ファイバ計測ポートに接続された光ファイバのコア相当径の測定光を1:1でサンプル面から受光、光ファイバに結合
  • 上記照射・受光径比率は10倍対物レンズ使用時(標準)
照射・受光径
  • 10倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径を1:1で照射・受光
  • 20倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径の1/2で照射・受光
  • 50倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径を1/5で照射・受光
  • 100倍対物レンズ使用時:光ファイバコア相当径を1/10で照射・受光
対物レンズ切替 手動4穴レボルバによる(対物レンズ4本同時装着可能)
対物レンズ ミツトヨ製M-Plan Apoシリーズに対応(標準)
観察用カメラポート
中間レンズ倍率
1倍(標準)、2倍または1/2倍(オプション)
観察カメラポート
最大光学倍率
標準:100倍(100倍対物レンズ仕様時)
オプション:200倍(対物レンズ100倍×中間レンズ2倍仕様時)
同軸落射照明ポート 標準(外形φ8mm)、同軸落射照明装置はオプション
減光方式 フィルタポートへの減光フィルタ(NDフィルタ)挿入方式
(最大2枚まで同時挿入可能)
カメラマウント Cマウント

製品の構成

コンポーネントセレクション 高機能型光照射・受光計測光学系 M-Scope type I

標準構成品 高機能光照射・受光計測光学系 M-Scope type I

  • 高機能光照射・受光計測光学系 M-Scope type I 本体 1式
    • 標準鏡筒(光ファイバ計測ポート、画像計測ポート、同軸落射照明ポートの3分岐型)
    • 光ファイバ計測用ポート(10倍対物レンズ使用時に光ファイバコア径を1:1で照射・受光)
    • 画像計測用ポート(1倍)
    • 同軸落射照明接続ポート(外形8mmφ)
    • 手動4穴対物レンズレボルバ

オプション

応用製品・関連製品

偏光依存性対策型 高機能光照射・受光計測光学系 M-Scope type I/PF

測定光の導入・照射にシングルモード光ファイバを使用した計測を行う場合、外部環境の影響により、光ファイバに曲げや圧力等の応力がかかることで、シングルモードファイバ内部で偏光状態が変化することがあります。光路2分岐・3分岐光学系で光路分岐用にハーフミラー(HM)を使用する場合、ハーフミラー(HM)の偏光依存性の影響で、偏光状態が変化することによる計測系全体での測定精度の安定性が悪化することがあります。

M-Scope type I/PFは、特殊なHMの配置構造をとることにより偏光の影響を除去、偏光特性を有するサンプル計測時でも安定した高い精度での計測を実現した光学系です。

高結合効率型 高機能光照射・受光計測光学系 M-Scope type I/HE

光量が微弱なサンプルの受光測定時、測定光を高効率で受光ファイバや受光素子に導入する高結合効率型の測定光学系です。同一面上に特性の異なるミラーを配置、カメラ観察モード・受光測定モードに使用するミラーを切り替える構造を有し、受光測定モードでの被測定光を高い効率で受光用ファイバや受光素子へカップリングすることができます。ミラーは、金ミラー・近赤外域に対する高反射率ミラー等への対応も可能です。

シリコンフォトニクス導波路等、コア径が微小で光量が微弱な発光サンプルの計測に向いています。

外観図面

外観図面 M-Scope type I

技術情報

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