光計測用光学機器と光計測システムのシナジーオプトシステムズ

製品の概要 
ハイパワーレーザ用NFP計測光学系 M-Scope type H

M-Scope type S

ハイパワーレーザ用NFP計測光学系 M-Scope type Hは、5Wクラスの高出力レーザ等の発光ビームプロファイル計測用のNFP計測光学系です。

計測対象サンプルから出射された光束をビームサンプラーにて約5%程度を反射させ、その反射光を対物レンズ・結像レンズにて2次元画像検出器に結像する方式を採用しています。これにより、高出力レーザの発光ビームプロファイル・ビーム形状を正確に計測することができます。また、微動ステージと組合せて、光学系を焦点方向に移動させることにより、ビーム形状の出射方向の変化を測定することも可能です。

検出器の選択は、弊社光センサラインナップの中から、測定波長や要求分解能にあわせて各種選択が可能です。また、当社光ビーム計測モジュールAP013との組み合わせによるハイパワーレーザNFP計測システムの構築が容易に可能です。

製品の特長

  • ビームサンプラーと減光フィルタの組合せにより高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰
  • 最大20倍の観察光学倍率(*オプションの2倍中間レンズポート×対物レンズ10倍仕様時)
  • 同軸落射照明ポートを標準装備。同軸落射照明装置(オプション)との組合せで顕微鏡画像観察・実像による位置合わせが可能。
    *オプションの同軸落射照明装置は、こちらをご参照ください。
  • 当社製光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザNFP計測システムの構築が容易に可能。

応用分野

  • レーザヘッドライト用、直接加工用、医療用、固体レーザ励起用、印刷用等の高出力レーザおよび高出力レーザモジュールの発光ビームプロファイル計測やビーム形状計測・解析
  • その他、各種高出力レーザのビームプロファイル計測一般

製品の主な仕様

光学系本体の主な仕様

方式 ビームサンプラー搭載型NFP計測光学系+画像処理解析方式
測定対応波長域 400nm-1100nmの計測対応波長範囲から計測波長を選択
測定可能入射光量 ~5W(標準)(応相談)
対物レンズ倍率 10倍
N.A. 0.28
中間レンズ倍率 1倍(標準)、2倍(オプションの中間レンズ2倍仕様時)
最大光学倍率 標準:10倍(10倍対物レンズ仕様時)
オプション:20倍(10倍対物レンズ+中間レンズ2倍仕様時)
観察視野 標準:約647μm×483μm(光学倍率10倍:高精度デジタルCCD検出器ISA011・10倍対物レンズ仕様時)
オプション:約313μm×234μm(光学倍率20倍:高精度デジタルCCD検出器ISA011・10倍対物レンズ+中間レンジ2倍仕様時)
画素分解能 標準:約0.46μm(光学倍率10倍:高精度デジタルCCD検出器ISA011・10倍対物レンズ仕様時)
オプション:約0.25μm(光学倍率20倍:高精度デジタルCCD検出器ISA011・10倍対物レンズ+中間レンジ2倍仕様時)
落射照明ポート 標準(外形8mmφ)、落射照明装置はオプション
減光方式 ビームサンプラーにより約5%の反射光を光学系に導入、およびフィルタポートへの減光フィルタ挿入併用方式
カメラマウント Cマウント

製品の構成

ハイパワーレーザ用NFP計測光学系 M-Scope type H 標準構成品

  • 光学系本体(10倍対物レンズ 単眼、ビームサンプラーユニット、カメラポート、同軸落射照明ポート、フィルタポート) 1式
  • 光学系保持固定用架台 1式

オプション

関連製品情報

データ処理・解析装置

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